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薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置
| 专利名称： | 薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种抑制无尘室内的空气紊流、并且获得薄板状材 料的较大的上浮量的薄板状材料输送用气动工作台以及具有该气动 工作台的薄板状材料输送装置。薄板状材料输送用气动工作台(14) 具有上面板(18)、多孔质膜(20)、和网状部件(22)；其中，所述 上面板(18)形成有多个用于对玻璃基板(12)的下表面供给气体 的给气孔(16)；所述多孔质膜(20)设置在所述上面板(18)之下 并与该上面板(18)相接触；所述网状部件(22)设置成从下方支 撑所述多孔质膜(20)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社日本设计工业;芝浦机械电子装置股份有限公司 |
| 发明人： | 名仓成之;滨中亮明;弓场说治;鸟山典之;小栗勤;牧野勉;福田丈二;广濑治道 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-04-18T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710100817.6 |
| 公开号： | CN101121466 |
| 代理机构： | 永新专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 胡建新 |
| 分类号： | B65G51/03(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本静冈县 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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