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用于大面积基板处理系统的装载锁定室
| 专利名称： | 用于大面积基板处理系统的装载锁定室 |
| 摘要： | 一种装载锁定室和方法，用于传送大面积基板。在一种实施例中，合 适用于传送大面积基板的装载锁定室包括多个垂直堆积起来的单基板传送 室。这种垂直堆积的单基板传送室结构与现有技术-双槽、双基板设计- 相比，尺寸减小、传送量加大。另外，加大的传送量是以减小泵浦量和排 放率来实现的，由于颗粒和凝聚的缘故，使得基板遭受污染的可能性减小。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 应用材料股份有限公司 |
| 发明人： | S·库里塔;W·T·布罗尼根;Y·塔纳斯 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-10-20T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710166902.2 |
| 公开号： | CN101145506 |
| 代理机构： | 上海专利商标事务所有限公司 |
| 代理人： | 陆 嘉 |
| 分类号： | H01L21/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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