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原文传递带均压的衬底容器

专利名称：	带均压的衬底容器
摘要：	本发明是一种用于容纳对微粒敏感的衬底的盒，用于在所述盒的外部与内部环境之间提供均压并用于使靠近所述对微粒敏感的衬底的内部气态流体流最小化。所述盒包含主盒、以及位于封盖中的隔膜，所述隔膜具有正常的未挠曲位置，所述隔膜可相对于所述正常的未挠曲位置发生挠曲。较佳地，所述盒包含设置于所述主盒中的辅助盒，以界定用于容纳所述对微粒敏感的衬底的第二外壳。所述盒可包含过滤器，所述过滤器附装至所述盒并在所述盒的外部与所述盒的内部之间提供气态流体连通。所述隔膜可响应于快速的压力变化，而所述过滤器可
专利类型：	发明专利
申请人：	安堤格里斯公司
发明人：	B·格雷格森;D·哈伯梅尔;S·森纳;B·怀斯曼;A·M·蒂本;J·斯特里克
专利状态：	有效
申请日期：	2006-02-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200680014024.6
公开号：	CN101166682
代理机构：	上海专利商标事务所有限公司
代理人：	任永武
分类号：	B65G1/133(2006.01)I
申请人地址：	美国明尼苏达州
所属类别：	发明专利