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光掩模衬底容器单元、光掩模衬底运输及曝光方法
| 专利名称： | 光掩模衬底容器单元、光掩模衬底运输及曝光方法 |
| 摘要： | 根据本发明的光掩模衬底容器单元用于运输和/或存储光掩模衬底，并 包括：壳体，所述壳体用于在其内容纳所述光掩模衬底；和保持部件，所 述保持部件以预定倾斜角度的倾斜姿势保持所述光掩模衬底。相较于适于 垂直保持光掩模衬底的纵向类型光掩模衬底容器单元，所述光掩模衬底容 器单元可以在高度上减小。由此，根据本发明的光掩模衬底容器单元不仅 可以便于光掩模衬底容器单元的运输/存储，而且也可以克服运输方法受 到限制的缺点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | HOYA株式会社 |
| 发明人： | 佐野道明 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-01-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710008399.8 |
| 公开号： | CN101013270 |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 代理人： | 王新华 |
| 分类号： | G03F7/20(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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