详情

原文传递掩模传输装置及掩模传输系统

专利名称：	掩模传输装置及掩模传输系统
摘要：	本发明提供一种掩模传输装置及掩模传输系统，涉及半导体设备领域。所述掩模传输装置包括两个承载机构和连接部，所述连接部包括在第一方向上相对的第一侧部和第二侧部，所述第一侧部与两个所述承载机构中的一者连接，所述第二侧部与两个所述承载机构中的另一者连接，所述承载机构用于承载掩模版，所述连接部用于与所述掩模传输装置的外部设备连接，以使所述掩模传输装置被所述外部设备驱动旋转。本发明的掩模传输装置及掩模传输系统解决了现有的掩模传输系统设备复杂度较高，空间利用率低的问题，提升了掩模传输系统的空间利用率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
发明人：	王浩楠;程秀全;刘嘉玮;史文明;常美榕;刘颖
专利状态：	有效
申请日期：	2022-09-16T00:00:00+0800
发布日期：	2022-12-16T00:00:00+0800
申请号：	CN202211128845.X
公开号：	CN115477138A
代理机构：	北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	宋家会
分类号：	B65G43/08;B65G47/90;B;B65;B65G;B65G43;B65G47;B65G43/08;B65G47/90
申请人地址：	100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
主权项：	1.一种掩模传输装置，其特征在于，所述掩模传输装置包括两个承载机构和连接部，所述连接部包括在第一方向上相对的第一侧部和第二侧部，所述第一侧部与两个所述承载机构中的一者连接，所述第二侧部与两个所述承载机构中的另一者连接，所述承载机构用于承载掩模版，所述连接部用于与所述掩模传输装置的外部设备连接，以使所述掩模传输装置被所述外部设备驱动旋转。 2.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述承载机构包括支撑框架，所述支撑框架围设出承载空间，所述承载空间用于承载所述掩模版，在所述承载空间内设置有所述掩模版的状态下，所述掩模版与所述支撑框架的侧部接触。 3.根据权利要求2所述的掩模传输装置，其特征在于，所述承载机构包括承载部，所述承载部与所述支撑框架的内侧部连接，所述承载部用于与所述掩模版接触，以支撑所述掩模版。 4.根据权利要求3所述的掩模传输装置，其特征在于，所述承载部包括彼此连接的刚性支撑件和承载件，所述承载件与所述支撑框架的侧部连接，所述刚性支撑件用于与所述掩模版接触，所述刚性支撑件的数量为三个。 5.根据权利要求4所述的掩模传输装置，其特征在于，所述承载部还包括柔性支撑件，所述柔性支撑件与所述承载件连接，所述刚性支撑件和所述柔性支撑件均沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述刚性支撑件在所述第二方向上的长度小于所述柔性支撑件在所述第二方向上的长度。 6.根据权利要求2所述的掩模传输装置，其特征在于，所述承载机构还包括限位件和夹持部，所述夹持部与所述连接部连接，所述限位件与所述支撑框架的远离所述连接部的一侧连接，所述夹持部的部分能够朝向或者远离所述限位件移动。 7.根据权利要求6所述的掩模传输装置，其特征在于，所述夹持部形成为气缸机构，所述承载机构还包括压力传感器，所述气缸机构包括进气口，所述压力传感器被设置为检测所述进气口的压力。 8.根据权利要求7所述的掩模传输装置，其特征在于，所述承载机构还包括检测部，所述气缸机构包括气缸和气缸杆，所述气缸杆能够相对所述气缸伸出，所述检测部被设置为检测所述气缸杆相对所述气缸伸出的长度。 9.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述连接部包括固定孔，所述固定孔用于与所述外部设备配合，以将所述掩模传输装置固定于所述外部设备。 10.一种掩模传输系统，其特征在于，所述掩模传输系统包括根据权利要求1-9中任一项所述的掩模传输装置和外部设备，所述外部设备与所述掩模传输装置连接，以带动所述掩模传输装置移动和旋转。