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原文传递一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器

专利名称：	一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器
摘要：	本实用新型涉及一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，属于传感器领域。包括一级谐振梁、一级谐振梁支撑结构、底座、回收槽，一级谐振梁的一端沉积有一级压电激振结构，另一端沉积有一级压电拾振结构，二级谐振梁阵列通过二级谐振梁阵列支撑结构固定于二级压电激振结构上方，有参考梁和检测梁；二级压电拾振结构沉积于二级谐振梁阵列的固定端。优点是结构新颖，通过建立多孔颗粒的气体吸附量与微悬臂梁谐振频率偏移量和气体压强间的关系，利用BET重量法，实现了比表面积的精确表征。降低了多孔颗粒比表面积表征的样品质量下限，极大的提高了传感器的精度。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	吉林;22
申请人：	吉林大学
发明人：	王东方;刘欣;殷志富;王昕;张志宇;夏操;杜旭;郑果文;万胜来;冯昊楠;滕浩;安临君;杨旭
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-03T00:00:00+0800
申请号：	CN201821630891.9
公开号：	CN208818603U
代理机构：	吉林长春新纪元专利代理有限责任公司
代理人：	魏征骥
分类号：	G01N5/02(2006.01);G;G01;G01N;G01N5
申请人地址：	130000 吉林省长春市前进大街2699号
主权项：	1.一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，其特征在于：一级谐振梁通过一级谐振梁支撑结构固定于底座上方，回收槽固定于底座上方并位于一级谐振梁长度方向中心位置的正下方；一级谐振梁的一端沉积有一级压电激振结构，另一端沉积有一级压电拾振结构，二级压电激振结构固定于一级谐振梁长度方向的中心位置；二级谐振梁阵列通过二级谐振梁阵列支撑结构固定于二级压电激振结构上方，二级谐振梁阵列由一根未沉积有粘性薄膜的谐振梁和其余沉积有粘性薄膜的谐振梁组成，且分别作为参考梁和检测梁；二级压电拾振结构沉积于二级谐振梁阵列的固定端，顶盖四周固定于二级谐振梁阵列支撑结构上方。 2.根据权利要求1所述一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，其特征在于：所述一级谐振梁在长度方向的中心位置为中空的矩形环状结构，二级压电激振结构同为中空的矩形环状结构，二级谐振梁阵列支撑结构同为中空的矩形环状结构，二级谐振梁阵列采用根部固定在二级谐振梁阵列支撑结构的内侧、自由端向心的双排直线阵列结构。 3.根据权利要求1所述一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，其特征在于：所述一级谐振梁、二级压电激振结构和二级谐振梁阵列支撑结构分别为非中空的矩形结构，二级谐振梁阵列采用根部固定在二级谐振梁阵列支撑结构外侧、自由端向外的双排直线阵列结构。 4.根据权利要求1所述一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，其特征在于：所述一级谐振梁采用谐振结构，包括梁结构、谐振盘、谐振筒、音叉或薄膜体声波谐振器。 5.根据权利要求4所述一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，其特征在于：所述一级谐振梁采用双端固支梁。 6.根据权利要求1所述一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，其特征在于：所述二级谐振梁阵列中检测梁和参考梁采用C形同步共振结构，其中，检测梁包括低频梁一、高频梁一、耦合块一，参考梁包括低频梁二、高频梁二、耦合块二。 7.根据权利要求1所述一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，其特征在于：所述二级谐振梁阵列中检测梁和参考梁采用U形同步共振结构，其中，检测梁低频梁三、高频梁三、耦合块三，参考梁包括低频梁四、高频梁四、耦合块四。 8.根据权利要求1所述一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，其特征在于：所述二级谐振梁阵列中检测梁和参考梁采用L形自主参激振动结构，其中，检测梁包括激振梁一、自主参激梁一和质量块一，参考梁包括激振梁二、自主参激梁二和质量块二。 9.根据权利要求1所述一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，其特征在于：所述二级谐振梁阵列中检测梁和参考梁采用T形自主参激振动结构，其中，检测梁包括激振梁三、自主参激梁三和质量块三，参考梁包括激振梁四、自主参激梁四和质量块四。
所属类别：	实用新型