专利名称: |
具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置 |
摘要: |
本实用新型属于原位和频振动光谱表征技术领域,特别涉及一种具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置。包括样品台、激光加热与控温系统及气路系统,其中样品台包括依次连接的样品池、调整机构及箱体,箱体内设有光学元件,激光加热与控温系统用于发射激光至箱体内,光学元件将激光转向和聚焦至样品池内的样品上,对样品进行激光加热及温度控制,气路系统用于对样品池抽真空及为样品池内提供不同压力的气氛。本实用新型体积小,拆换方便,不仅能够在x‑y平面内调节样品位置,还能对样品进行360°旋转;本实用新型可在不同温度和压力下原位表征表面结构的变化。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
辽宁;21 |
申请人: |
中国科学院大连化学物理研究所 |
发明人: |
罗婷;任泽峰;张瑞丹;彭星星 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-09-29T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-05-03T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201821595015.7 |
公开号: |
CN208818635U |
代理机构: |
沈阳科苑专利商标代理有限公司 |
代理人: |
何丽英 |
分类号: |
G01N21/25(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: |
116023 辽宁省大连市沙河口区中山路457号 |
主权项: |
1.一种具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置,其特征在于,包括样品台、激光加热与控温系统及气路系统,其中样品台包括依次连接的样品池(24)、调整机构(25)及箱体(27),所述箱体(27)内设有光学元件(26),所述激光加热与控温系统用于发射激光至所述箱体(27)内,所述光学元件(26)用于将所述激光加热与控温系统发射的激光转向和聚焦至样品池(24)内的样品(2)上,对样品(2)进行激光加热,所述激光加热与控温系统控制样品(2)的温度,所述气路系统用于对样品池(24)抽真空及为样品池(24)内提供不同压力的气氛。 2.根据权利要求1所述的具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置,其特征在于,所述样品池(24)包括样品池壳体、前窗片(1)及后窗片(3),其中样品池壳体连接在所述调整机构(25)上,所述样品池壳体的前、后端分别设有前窗片(1)和后窗片(3),所述激光加热与控温系统发射的激光经后窗片(3)进入所述样品池(24)内,所述样品池壳体上连接有与所述气路系统连接的进气管(9)和出气管(8)。 3.根据权利要求2所述的具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置,其特征在于,所述样品池壳体包括密封连接的前外壁(6)和后外壁(18),所述前窗片(1)嵌设于所述前外壁(6)上设有的凹槽内,所述前窗片(1)和所述前外壁(6)之间设有O型密封圈(7)进行密封,且通过前压板(5)固定,所述前压板(5)与所述前外壁(6)之间设有前垫片(4),所述后窗片(3)嵌设于所述后外壁(18)上设有的凹槽内,所述后窗片(3)与所述后外壁(18)之间设有O型密封圈(7)进行密封,且通过后压板(20)固定,所述后压板(20)与所述后外壁(18)之间设有后垫片(19)。 4.根据权利要求3所述的具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置,其特征在于,所述后外壁(18)内设有冷却水通道,所述冷却水通道的两端分别与用于进水和出水两个冷却水管(10)连接。 5.根据权利要求1所述的具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置,其特征在于,所述调整机构(25)包括调整架(11)、固定平台(12)、二维移动平台(13)、L型固定台(21)及转动台(14),其中调整架(11)安装在固定平台(12)上、且安装位置可调,所述固定平台(12)与二维移动平台(13)固定连接,所述二维移动平台(13)置于L型固定台(21)上,所述L型固定台(21)与转动台(14)连接,所述转动台(14)固定在所述箱体(27)上,所述样品池(24)安装在所述调整架(11)上。 6.根据权利要求1所述的具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置,其特征在于,所述光学元件(26)包括透镜(16)和反射镜(17),其中反射镜(17)以45°入射角摆放、且将所述激光加热与控温系统发射的激光反射至所述透镜(16)上,所述透镜(16)与所述样品(2)同轴安装,用于将所述反射镜(17)发射的激光聚焦,以将所述样品(2)背面的激光光斑调至合适大小。 7.根据权利要求1所述的具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置,其特征在于,所述激光加热与控温系统包括激光器(32)、TTL信号发生器(33)、电脑(36)及测温仪,其中激光器(32)通过TTL信号发生器(33)与电脑(36)连接,所述激光器(32)用于发射激光至所述光学元件(26)上;所述测温仪通过电缆与所述电脑(36)连接,所述测温仪用于检测所述样品池(24)内样品(2)的温度,并将所测得温度传输至电脑(36)中,所述电脑(36)根据所述测温仪检测的温度信号通过PID调节方法控制所述激光器(32)的输出功率。 8.根据权利要求7所述的具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置,其特征在于,所述测温仪为与所述样品(2)边缘接触的热电偶(34),所述热电偶(34)通过温度采集卡(35)与所述电脑(36)连接;或者所述测温仪为设置于所述样品池(24)外侧的红外测温仪(37),所述红外测温仪(37)通过电缆与所述电脑(36)连接。 9.根据权利要求1所述的具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置,其特征在于,所述气路系统包括气室(38)及与所述气室(38)连接的气源(29)和分子泵(30),所述气室(38)通过进气管路和排气管路与所述样品池(24)连通。 10.根据权利要求9所述的具备激光加热的原位和频振动光谱检测装置,其特征在于,所述气室(38)上连接有压力探测器(28)和残余气体分析仪(31)。 |
所属类别: |
实用新型 |