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通过和频振动光谱对样品的扫描表面成像的表面感测系统和方法
| 专利名称： | 通过和频振动光谱对样品的扫描表面成像的表面感测系统和方法 |
| 摘要： | 本文公开了通过和频振动光谱对样品(30)的扫描表面(32)成像的表面感测系统和方法。系统包括样品支架(20)、可见光源(40)和可调节IR光源(50)，可见光源配置为引导可见光束(42)入射在扫描表面(32)的采样位置(34)上，可调节IR光源配置为引导可调节IR光束(52)与可见光束(42)在采样位置(34)上重合。系统还包括扫描结构(60)和滤光器(70)，扫描结构配置为横跨扫描表面(32)扫描可见光束(42)和可调节IR光束(52)，滤光器配置为从扫描表面(32)接收发射光束(38)并且对发射光束(38)滤光以生成滤光光束(72)。系统进一步包括光检测系统(80)和对准结构(90)，光检测系统配置为接收滤光光束(72)。方法包括操作该系统的方法。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 美国;US |
| 申请人： | 波音公司 |
| 发明人： | J·H·亨特;J·史;J·P·尚加拉 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2017-12-18T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-06T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201780085966.1 |
| 公开号： | CN110546483A |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 尚晓芹 |
| 分类号： | G01N21/65(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 美国伊利诺伊州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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