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原文传递自动化的材料处置系统

专利名称：	自动化的材料处置系统
摘要：	一种半导体工件处理系统，包括至少一个处理工具、容器(151)、第一传输分段(12)和第二传输分段(14)。第一传输分段具有可沿着第一轨道(16)移动而移动储盒的运载工具(200)。第二传输分段不是基于运载工具的分段，并且具有第二轨道(18)。第一轨道和第二轨道设置成彼此邻近，以允许在一次操作中，容器在它们之间一体地移动。
专利类型：	发明专利
申请人：	布鲁克斯自动化公司
发明人：	R·P·萨利文;C·哈里斯;M·布法诺;G·弗里德曼;C·霍夫梅斯特
专利状态：	有效
申请日期：	2004-08-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200480039070.2
公开号：	CN101175682
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	赵辛
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	美国马萨诸塞州
所属类别：	发明专利