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一种高时间分辨的质谱检测设备及应用
| 专利名称： | 一种高时间分辨的质谱检测设备及应用 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高时间分辨的质谱检测设备，包括依次电连接的电容模块、信号转换器以及质谱仪；所述质谱仪用于分析等离子体的粒子种类、能量；所述电容模块，用于接受待测试系统中的脉冲模拟信号，进行脉冲反相交换，并输出控制信号；所述信号转换器，用于确定数据采集的起始位置，进而获得一个脉冲内的等离子体质谱信号。本发明的高时间分辨的质谱检测设备可用于跟踪脉冲放电等离子体质谱信号，测试脉冲放电的瞬态等离子特性，进行等离子体诊断，研究普通质谱仪无法检测的瞬态过程。本设备成本低，且通过采用不同的溅射电源和溅射阴极能够很好地适应不同的放电要求。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 发明人： | 吴忠振;肖舒;刘亮亮;马正永;林海;潘锋 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-12-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-05-03T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201811627273.3 |
| 公开号： | CN109709201A |
| 代理机构： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 分类号： | G01N27/62(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城北大园区 |
| 主权项： | 1.一种高时间分辨的质谱检测设备，其特征在于，包括依次电连接的电容模块、信号转换器以及质谱仪； 所述质谱仪用于收集待测试系统中的等离子体信号，并分析等离子体的粒子种类、能量； 所述电容模块，用于接受待测试系统中的脉冲模拟信号，进行脉冲反相交换，并输出控制信号； 所述信号转换器，用于接受所述控制信号，并将所述控制信号转换后输出至所述质谱仪，以确定数据采集的起始位置，进而获得一个脉冲内的等离子体质谱信号。 2.一种如权利要求1所述的高时间分辨的质谱检测设备的应用，其特征在于，将所述高时间分辨的质谱检测设备用于检测等离子体放电系统中等离子体的质谱。 3.根据权利要求2所述的高时间分辨的质谱检测设备的应用，其特征在于，所述等离子体放电系统包括脉冲电源，以及与所述脉冲电源电连接的放电阴极，还包括一示波器，所述示波器分别与所述脉冲电源、所述放电阴极电连接，用于显示所述脉冲电源以及所述放电阴极产生的实时信号。 4.根据权利要求3所述的高时间分辨的质谱检测设备的应用，其特征在于，所述脉冲电源为中频脉冲、射频脉冲、高功率脉冲或复合脉冲。 5.根据权利要求3所述的高时间分辨的质谱检测设备的应用，其特征在于，所述放电阴极为筒形阴极、平面阴极或旋转阴极。 6.根据权利要求3所述的高时间分辨的质谱检测设备的应用，其特征在于，所述放电阴极采用了辉光放电、辉光放电或复合放电的方法进行放电。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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