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原文传递 工件收纳装置及工件收纳方法
专利名称: 工件收纳装置及工件收纳方法
摘要: 本发明涉及一种收纳工件即基板(W)的基板收纳装置(1),这样的基板 收纳装置(1)具有:将基板(W)按搬入的顺序从上收纳的第一基板箱(10)、 将第一基板箱(10)内收纳的基板(W)从下按顺序搬出的搬出输送机(3)、 将用搬出输送机(3)搬运的基板(W)从上按顺序收纳的第二基板箱(20)。 在将基板(W)从第一基板箱(10)移载到第二基板箱(20)时,基板(W) 的配置顺序逆转,因此,在将基板(W)从第二基板箱(20)搬出时,从最 先搬入的基板(W)搬出。
专利类型: 发明专利
申请人: 神钢电机株式会社
发明人: 北泽保良
专利状态: 有效
申请日期: 2006-06-20T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200680018107.2
公开号: CN101180229
代理机构: 北京市柳沈律师事务所
代理人: 陶凤波
分类号: B65G49/06(2006.01)I
申请人地址: 日本东京都
所属类别: 发明专利
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