专利名称: | 工件收纳装置及工件收纳方法 |
摘要: | 本发明涉及一种收纳工件即基板(W)的基板收纳装置(1),这样的基板 收纳装置(1)具有:将基板(W)按搬入的顺序从上收纳的第一基板箱(10)、 将第一基板箱(10)内收纳的基板(W)从下按顺序搬出的搬出输送机(3)、 将用搬出输送机(3)搬运的基板(W)从上按顺序收纳的第二基板箱(20)。 在将基板(W)从第一基板箱(10)移载到第二基板箱(20)时,基板(W) 的配置顺序逆转,因此,在将基板(W)从第二基板箱(20)搬出时,从最 先搬入的基板(W)搬出。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 神钢电机株式会社 |
发明人: | 北泽保良 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-06-20T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200680018107.2 |
公开号: | CN101180229 |
代理机构: | 北京市柳沈律师事务所 |
代理人: | 陶凤波 |
分类号: | B65G49/06(2006.01)I |
申请人地址: | 日本东京都 |
所属类别: | 发明专利 |