详情

原文传递一种溅镀机轨道测试装置及测试方法

专利名称：	一种溅镀机轨道测试装置及测试方法
摘要：	本发明公开了一种溅镀机轨道测试装置，包括机架，机架上设有测试平台；驱动机构安装在测试平台上，驱动机构被配置为驱动溅镀机轨道正向运行和反向运行；可编程逻辑控制器安装在机架上，可编程逻辑控制器与驱动机构连接；电源供应器安装在机架上，电源供应器与可编程逻辑控制器连接。一种测试方法，包括S1：在机架的测试平台上设置待测试的溅镀机轨道；S2：接通电源，驱动机构回复原点；S3：驱动机构驱动溅镀机轨道正向运行，测试溅镀机轨道的正转顺畅度；S4：驱动机构驱动溅镀机轨道反向运行，测试溅镀机轨道的反转顺畅度。本发明在安装前进行轨道顺畅度的检测，可以确保轨道安装后机台的稳定性，减少停机次数，提升机台的产能。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	重庆;50
申请人：	台晶(重庆)电子有限公司
发明人：	杨振军;李振芳
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201811600509.4
公开号：	CN109720374A
代理机构：	北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人：	文芳
分类号：	B61K9/08(2006.01);B;B61;B61K;B61K9
申请人地址：	401329 重庆市九龙坡区凤笙路22号
主权项：	1.一种溅镀机轨道测试装置，用于检测溅镀机轨道的运行顺畅度，其特征在于：包括机架，所述机架上设有测试平台；驱动机构，所述驱动机构安装在所述测试平台上，所述驱动机构被配置为驱动溅镀机轨道正向运行和反向运行；可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器安装在所述机架上，所述可编程逻辑控制器与所述驱动机构连接；以及电源供应器，所述电源供应器安装在所述机架上，所述电源供应器与所述可编程逻辑控制器连接。 2.根据权利要求1所述的溅镀机轨道测试装置，其特征在于：还包括用于将溅镀机轨道限定在所述测试平台上的限位件，所述限位件固定在所述测试平台上。 3.根据权利要求2所述的溅镀机轨道测试装置，其特征在于：所述限位件包括横向限位块和纵向限位块，所述横向限位块和纵向限位块均固定在所述测试平台上，所述横向限位块和纵向限位块互相垂直设置。 4.根据权利要求1所述的溅镀机轨道测试装置，其特征在于：所述驱动机构包括动力设备和传动部，所述动力设备与所述传动部连接，并可驱动所述传动部，所述传动部与溅镀机轨道连接。 5.根据权利要求4所述的溅镀机轨道测试装置，其特征在于：所述动力设备为伺服电机，所述传动部为磁性传动联轴器，所述伺服电机通过所述磁性传动联轴器驱动溅镀机轨道运行。 6.根据权利要求5所述的溅镀机轨道测试装置，其特征在于：所述可编程逻辑控制器通过驱动器与所述伺服电机连接。 7.根据权利要求6所述的溅镀机轨道测试装置，其特征在于：所述测试平台上安装有停止按钮、正转按钮和反转按钮，所述停止按钮、正转按钮和反转按钮分别与所述伺服电机连接。 8.一种采用权利要求1-7任一所述的溅镀机轨道测试装置的测试方法，其特征在于：包括以下步骤： S1：在所述机架的所述测试平台上设置待测试的溅镀机轨道； S2：接通电源，驱动机构回复原点； S3：驱动机构驱动溅镀机轨道正向运行，测试溅镀机轨道的正转顺畅度； S4：驱动机构驱动溅镀机轨道反向运行，测试溅镀机轨道的反转顺畅度。 9.根据权利要求8所述的测试方法，其特征在于：所述步骤S3包括： S31：通过可编程逻辑控制器进行测试参数的设定，所述测试参数包括加速度、减速度、目标频率、输出脉冲数和启动频率； S32：驱动机构驱动溅镀机轨道按照设定的测试参数正向运行，测试溅镀机轨道的正转顺畅度。 10.根据权利要求8所述的测试方法，其特征在于：所述步骤S4包括： S41：通过可编程逻辑控制器进行测试参数的设定，所述测试参数包括加速度、减速度、目标频率、输出脉冲数和启动频率； S42：驱动机构驱动溅镀机轨道按照设定的测试参数反向运行，测试溅镀机轨道的反转顺畅度。
所属类别：	发明专利