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原文传递抗蚀剂的品质管理方法及得到抗蚀剂的品质预测模型的方法

专利名称：	抗蚀剂的品质管理方法及得到抗蚀剂的品质预测模型的方法
摘要：	本发明的目的在于提供一种用于抗蚀剂的品质管理及探明不良产生时的早期原因的简便的经机械化的解析方法。本发明提供一种抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，包括：(1)对抗蚀剂进行前处理，得到分析样本的工序；(2)将所述分析样本供于机器分析，得到分析结果的工序；(3)将所述分析结果变换为数值数据，进行多变量解析的工序；以及(4)由得到的解析结果对品质进行管理的工序。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	信越化学工业株式会社
发明人：	新井直树;提箸正义;片山和弘
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201811256005.5
公开号：	CN109725015A
代理机构：	北京路浩知识产权代理有限公司
代理人：	张晶;谢顺星
分类号：	G01N24/08(2006.01);G;G01;G01N;G01N24
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，包括： (1)对抗蚀剂进行前处理，得到分析样本的工序； (2)将所述分析样本供于机器分析，得到分析结果的工序； (3)将所述分析结果变换为数值数据，进行多变量解析的工序；以及 (4)由得到的解析结果对品质进行管理的工序。 2.根据权利要求1所述的抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，将所述多变量解析设为PCA主成分分析。 3.根据权利要求1所述的抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，将所述机器分析设为核磁共振分析。 4.根据权利要求2所述的抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，将所述机器分析设为核磁共振分析。 5.根据权利要求1所述的抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，所述前处理为将所述抗蚀剂溶解于溶剂。 6.根据权利要求2所述的抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，所述前处理为将所述抗蚀剂溶解于溶剂。 7.根据权利要求3所述的抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，所述前处理为将所述抗蚀剂溶解于溶剂。 8.根据权利要求4所述的抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，所述前处理为将所述抗蚀剂溶解于溶剂。 9.根据权利要求1～8中任一项所述的抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，将所述分析结果中包含的来自抗蚀剂聚合物、产酸剂及碱性化合物中的任一者的峰作为指标。 10.一种得到抗蚀剂的品质预测模型的方法，其特征在于，包括： (1)对已知品质的多个抗蚀剂进行前处理，得到个别的分析样本的工序； (2)将所述个别的分析样本供于机器分析，得到个别的分析结果的工序； (3)将所述个别的分析结果与该品质的关系变换为数值数据，进行多变量解析的工序。 11.一种抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，包括： (1)对抗蚀剂进行前处理，得到分析样本的工序； (2)将所述分析样本供于机器分析，得到分析结果的工序； (3)将所述分析结果变换为数值数据，进行多变量解析的工序；以及 (4)将得到的解析结果与在权利要求10中得到的品质预测模型进行对照的工序。
所属类别：	发明专利