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原文传递容器输送系统和测量容器

专利名称：	容器输送系统和测量容器
摘要：	储料器(1)包括存储FOUP(20)、多个净化单元(50)、测量 FOUP(30)和堆垛机(60)。存储FOUP(20)在其中存储半导体晶片。测量FOUP(30)在其中具有流量计。净化单元(50)包括具有用于放置存储FOUP(20)的多个净化台(54)的净化搁架(51)，并且氮气被供给到放置在净化台(54)上的存储FOUP(20)中。堆垛机(60) 将存储FOUP(20)输送到净化台(54)上，并且在多个净化台(54) 之间输送测量FOUP(30)。
专利类型：	发明专利
申请人：	日本阿西斯特技术株式会社
发明人：	村田正直;前泷进
专利状态：	有效
申请日期：	2007-12-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710160103.4
公开号：	CN101207059
代理机构：	中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：	孙志湧;陆锦华
分类号：	H01L21/67(2006.01)I
申请人地址：	日本三重县
所属类别：	发明专利