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与半导体容器连用的皮带式传送装置
| 专利名称： | 与半导体容器连用的皮带式传送装置 |
| 摘要： | 本发明包括用于在整个制造工厂范围内移动半导体容器(2)的输送机 (100)。在一个实施例中，输送机包括多个独立控制的输送机区域(Z)。每 个输送机区域具有第一皮带(110)、第二皮带(112)、以及用于使第一和第二 皮带以基本上相同的速度转动的驱动组件(130)。当容器沿输送机移动时， 第一和第二皮带以基本上相同的速度被驱动并且可移动地支撑容器底板。 在另一个实施例中，输送机包括尤其用于探测容器位置的传感器(200)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 阿赛斯特技术公司 |
| 发明人： | A·C·博诺拉;R·G·海因;M·克罗拉克 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-07-10T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200680025251.9 |
| 公开号： | CN101218157 |
| 代理机构： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 胡 强;蔡民军 |
| 分类号： | B65G15/12(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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