专利名称: | 工件输送装置和具备其的图像形成装置及工件输送方法 |
摘要: | 工件输送装置(30)具备:用多个吸附装置(54)吸附装载于输入部 (32)的工件(200)并输送到载物台(110)的第一吸附单元(50);用 多个吸附装置(56)吸附载物台(110)上的工件(200)并输送到输出部 (34)的第二吸附单元(52);设置于载物台(110)上并密闭工件(200) 的周缘部,并且,形成有使工件(200)的除周缘部外的区域露出的开口 部(12)的固定夹具(10)。通过使配置于第一吸附单元(50)的缘端部 侧的第一吸附装置(54A)或者配置于第二吸附单元(52)的缘端部 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 富士胶片株式会社 |
发明人: | 增尾勉;桥口昭浩 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-08-03T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200680029775.5 |
公开号: | CN101243361 |
代理机构: | 中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人: | 朱 丹 |
分类号: | G03F7/20(2006.01)I |
申请人地址: | 日本国东京都 |
所属类别: | 发明专利 |