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原文传递 工件输送装置和具备其的图像形成装置及工件输送方法
专利名称: 工件输送装置和具备其的图像形成装置及工件输送方法
摘要: 工件输送装置(30)具备:用多个吸附装置(54)吸附装载于输入部 (32)的工件(200)并输送到载物台(110)的第一吸附单元(50);用 多个吸附装置(56)吸附载物台(110)上的工件(200)并输送到输出部 (34)的第二吸附单元(52);设置于载物台(110)上并密闭工件(200) 的周缘部,并且,形成有使工件(200)的除周缘部外的区域露出的开口 部(12)的固定夹具(10)。通过使配置于第一吸附单元(50)的缘端部 侧的第一吸附装置(54A)或者配置于第二吸附单元(52)的缘端部
专利类型: 发明专利
申请人: 富士胶片株式会社
发明人: 增尾勉;桥口昭浩
专利状态: 有效
申请日期: 2006-08-03T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200680029775.5
公开号: CN101243361
代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
代理人: 朱 丹
分类号: G03F7/20(2006.01)I
申请人地址: 日本国东京都
所属类别: 发明专利
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