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原文传递一种中测台的储料装置

专利名称：	一种中测台的储料装置
摘要：	本发明公开了一种中测台的储料装置，属于中测台的技术领域，旨在提供一种方便将晶圆匣放入机箱内的中测台的储料装置，其技术方案要点是包括机箱和机箱铰接的箱盖，所述机箱内设有用于放置晶圆匣的物料平台，所述机箱内设有用于驱动物料平台升降的升降机构和用于驱动升降机构运行的驱动电机，所述升降机构包括两根竖直设置的导杆，两根导杆转动设置在机箱内底壁，两根导杆之间设有升降螺杆，所述升降螺杆转动设置在机箱内，所述物料平台与导杆滑动连接，且与升降螺杆螺纹连接，所述升降螺杆与驱动电机之间设有第一传动机构。通过升降机构和物料平台的设置，能够起到方便工人将晶圆匣放入机箱内，同时避免晶圆从晶圆匣内滑落出的效果。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江阴佳泰电子科技有限公司
发明人：	季建松
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201910088092.6
公开号：	CN109720719A
代理机构：	北京维正专利代理有限公司
代理人：	沈淼
分类号：	B65D43/26(2006.01);B;B65;B65D;B65D43
申请人地址：	214400 江苏省无锡市江阴市临港新城璜土镇迎宾东路33号
主权项：	1.一种中测台的储料装置，包括机箱（1）和机箱（1）铰接的箱盖（11），所述机箱（1）内中空设置，所述机箱（1）内设有用于放置晶圆匣的物料平台（2），其特征在于：所述机箱（1）内设有用于驱动物料平台（2）升降的升降机构（3）和用于驱动升降机构（3）运行的驱动电机（4），所述升降机构（3）包括两根竖直设置的导杆（31），两根导杆（31）转动设置在机箱（1）内底壁，两根导杆（31）之间设有升降螺杆（32），所述升降螺杆（32）转动设置在机箱（1）内，所述物料平台（2）与导杆（31）滑动连接，且与升降螺杆（32）螺纹连接，所述升降螺杆（32）与驱动电机（4）之间设有第一传动机构（5）；所述机箱（1）与箱盖（11）之间设有铰接轴（12），所述铰接轴（12）转动设置在机箱（1）上，所述箱盖（11）与铰接轴（12）固定连接，所述铰接轴（12）与驱动电机（4）之间设有第二传动机构（6）。 2.根据权利要求1所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述第一传动机构（5）包括设置在升降螺杆（32）底部的第一锥齿轮（51），所述驱动电机（4）的输出轴上固设有第一传动轴（52），所述第一传动轴（52）背向驱动电机（4）一端设有第二锥齿轮（53），所述第一锥齿轮（51）与第二锥齿轮（53）啮合。 3.根据权利要求2所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述第二传动机构（6）包括与第一传动轴（52）相互垂直设置的第二传动轴（61），所述第二传动轴（61）与铰接轴（12）相互平行且位于铰接轴（12）正下方，所述第一传动轴（52）朝向第二传动轴（61）一端设有第三锥齿轮（62），所述第二传动轴（61）上设有与第三锥齿轮（62）啮合的第四锥齿轮（63），所述第二传动轴（61）背向第三锥齿轮（62）一端设有主动轮（64），所述铰接轴（12）上设有从动轮（65），所述主动轮（64）与从动轮（65）之间设有传动带（66）。 4.根据权利要求1所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述物料平台（2）包括基板（21），所述基板（21）上滑动设有托板（22），所述基板（21）与托板（22）之间设有驱动托板（22）滑移的滑移机构（23）。 5.根据权利要求4所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述滑移机构（23）包括设置在基板（21）上的两条滑槽（231），两条滑槽（231）相互平行设置，所述托板（22）底面设有与滑槽（231）滑动连接的滑轨（232），所述托板（22）底面还设有螺母座（233），所述基板（21）上转动设有滑移螺杆（234），所述滑移螺杆（234）与螺母座（233）螺纹连接，所述滑移螺杆（234）一端设有驱动其转动的滑移电机（235）。 6.根据权利要求5所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：两根所述导杆（31）的顶端固设有连接板（33），所述滑移螺杆（234）与连接板（33）转动连接，所述连接板（33）上设有触点开关（34）。 7.根据权利要求5所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述基板（21）上设有同线设置的第一行程开关（236）和第二行程开关（237），所述托板（22）底面设有限位触点。 8.根据权利要求1所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述机箱（1）内底壁设有风扇（7），所述风扇（7）位于物料平台（2）下方。 9.根据权利要求8所述的一种中测台的储料装置，其特征在于：所述机箱（1）内设有用于感知物料平台（2）位移的定位传感器。
所属类别：	发明专利