专利名称: | 一种便于取放物料的中测台的储料装置 |
摘要: | 本实用新型公开了一种便于取放物料的中测台的储料装置,属于中测台的技术领域,旨在提供一种便于将晶圆匣放入机箱内,提高工作效率的中测台的储料装置,其技术方案要点是包括机箱和机箱铰接的箱盖,所述机箱内设有用于驱动物料平台升降的升降机构和用于驱动升降机构运行的驱动电机,所述升降机构包括两根竖直设置的导杆,两根导杆转动设置在机箱内底壁,两根导杆之间设有升降螺杆,所述升降螺杆转动设置在机箱内,所述物料平台与导杆滑动连接,且与升降螺杆螺纹连接,所述升降螺杆与驱动电机之间设有传动机构。通过升降机构和物料平台的设置,能够起到方便工人将晶圆匣放入机箱内,同时避免晶圆从晶圆匣内滑落出的效果。 |
专利类型: | 实用新型 |
国家地区组织代码: | 江苏;32 |
申请人: | 江阴佳泰电子科技有限公司 |
发明人: | 季建松 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2019-01-29T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-12-17T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201920160440.1 |
公开号: | CN209796245U |
分类号: | B65D43/26(2006.01);B;B65;B65D;B65D43 |
申请人地址: | 214400 江苏省无锡市江阴市临港新城璜土镇迎宾东路33号 |
所属类别: | 实用新型 |