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原文传递激光检测系统

专利名称：	激光检测系统
摘要：	本发明公开了一种激光检测系统，包括激光源、二向色镜以及聚焦镜组，激光源与二向色镜之间设置有反射镜，二向色镜的镜面与其入射光呈夹角式布置，激光源发出的激光束依次经过反射镜、二向色镜、聚焦镜组聚焦至样品表面，烧蚀产生的等离子体信号经由聚焦镜组、二向色镜反射至分析单元。上述方案通过反射镜的设置，当激光源发出的激光束经过二向色镜后发生偏移时，只需要调整反射镜的反射角度就可以将二向色镜透射后的激光束校正回预定光路上，这样就不需要对二向色镜以及聚焦镜组进行调整，使得调节十分方便。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	合肥金星机电科技发展有限公司
发明人：	潘从元;李朝阳;安宁;徐勇;查振春
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-10T00:00:00+0800
申请号：	CN201910085815.7
公开号：	CN109738420A
代理机构：	合肥诚兴知识产权代理有限公司
代理人：	汤茂盛
分类号：	G01N21/73(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	230088 安徽省合肥市高新区皖水路228号
主权项：	1.一种激光检测系统，其特征在于：包括激光源(10)、二向色镜(20)以及聚焦镜组(30)，激光源(10)与二向色镜(20)之间设置有反射镜(40)，二向色镜(20)的镜面与其入射光呈夹角式布置，激光源(10)发出的激光束依次经过反射镜(40)、二向色镜(20)、聚焦镜组(30)聚焦至样品A表面，烧蚀产生的等离子体信号经由聚焦镜组(30)、二向色镜(20)反射至分析单元。 2.根据权利要求1所述的激光检测系统，其特征在于：所述反射镜(40)包括第一反射镜(41)和第二反射镜(42)，第一反射镜(41)和第二反射镜(42)的镜面垂直布置，激光束依次经第一反射镜(41)和第二反射镜(42)反射至二向色镜(20)上。 3.根据权利要求1或2所述的激光检测系统，其特征在于：聚焦镜组(30)包括沿激光束照射方向顺序布置的凹面反射镜(31)和凸面反射镜(32)，凹面反射镜(31)的中部开设有的中心孔(311)，凹面反射镜(31)的反射凹面(312)与凸面反射镜(32)的反射凸面(321)相对布置，激光束穿过中心孔(311)经凸面反射镜(32)的反射凸面(321)、凹面反射镜(31)的反射凹面(312)聚焦至样品A表面。 4.根据权利要求3所述的激光检测系统，其特征在于：所述中心孔(311)的直径与激光束在该位置处的截面直径吻合，凸面反射镜(32)垂直于中心孔(311)孔芯方向上的投影面积与中心孔(311)在垂直于孔芯方向上的截面面积吻合，凹面反射镜(31)的光束接收区域覆盖凸面反射镜(32)的光束反射区域。 5.根据权利要求3所述的激光检测系统，其特征在于：聚焦镜组(30)还包括位移台(33)，凸面反射镜(32)滑动设置在位移台(33)上且两者之间构成沿激光束轴芯方向上的滑移导向配合。 6.根据权利要求1所述的激光检测系统，其特征在于：所述激光源(10)的激光发射端设置有扩束镜(50)。 7.根据权利要求1所述的激光检测系统，其特征在于：所述二向色镜(20)与分析单元之间设置有凸透镜(60)，烧蚀产生的等离子体信号经二向色镜(20)反射后由凸透镜(60)聚焦至分析单元。
所属类别：	发明专利