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原文传递晶片自动收料系统

专利名称：	晶片自动收料系统
摘要：	本实用新型公开了一种晶片自动收料系统，包括：晶片传输单元、晶片装载单元以及晶匣缓存单元；晶片传输单元用于将上游设备提供的晶片传输并装载至晶片装载单元中的空载的晶匣内；晶匣缓存单元用于暂存待转移至晶片装载单元或下游设备的多个晶匣；晶片装载单元用于配合晶片传输单元将晶片载入空载的晶匣内，且还用于在晶片传输单元与晶匣缓存单元之间传递空载或满载的晶匣。本实用新型所涉及各组成单元相互配合，使整个装片及转移晶匣的过程顺畅自然、连贯有序，不仅提高了设备使用率、降低设备运行成本，并且能够节省整体流程时间，提高生产效率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	东泰高科装备科技有限公司
发明人：	唐海峰;邹金成;申兵兵
专利状态：	有效
申请日期：	2018-09-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-10T00:00:00+0800
申请号：	CN201821614708.6
公开号：	CN208843284U
代理机构：	北京维澳专利代理有限公司
代理人：	王立民;贾博雍
分类号：	B65G47/90(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	102209 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
主权项：	1.一种晶片自动收料系统，其特征在于，包括：晶片传输单元、晶片装载单元以及晶匣缓存单元；所述晶片传输单元用于将上游设备提供的晶片传输并装载至所述晶片装载单元中的空载的晶匣内；所述晶匣缓存单元用于暂存待转移至所述晶片装载单元或下游设备的多个晶匣；所述晶片装载单元用于配合所述晶片传输单元将晶片载入空载的晶匣内，且还用于在所述晶片传输单元与所述晶匣缓存单元之间传递空载或满载的晶匣。 2.根据权利要求1所述的自动收料系统，其特征在于，所述晶匣缓存单元包括：相邻而设的第一传送装置与第二传送装置；所述第一传送装置用于移动并放置至少一个待转移的晶匣；所述第二传送装置用于装载并放置多个晶匣，且还用于将其中一个晶匣传送至第一传送装置上。 3.根据权利要求2所述的自动收料系统，其特征在于，所述晶匣缓存单元还包括：运载装置；所述第一传送装置和所述第二传送装置均安装在所述运载装置上，所述运载装置用于同步移动所述第一传送装置和所述第二传送装置。 4.根据权利要求2所述的自动收料系统，其特征在于，所述晶匣缓存单元还包括：夹紧装置；所述夹紧装置用于夹持放置在所述第一传送装置和所述第二传送装置上的晶匣。 5.根据权利要求2所述的自动收料系统，其特征在于，所述系统包括两组所述晶匣缓存单元，其中一组用于暂存向所述晶片装载单元转移的空载的晶匣；另一组用于暂存向下游设备转移的满载的晶匣。 6.根据权利要求1所述的自动收料系统，其特征在于，所述晶片装载单元包括收料装置和第一机械手；所述收料装置靠近所述晶片传输单元，用于放置晶匣且能够按照晶匣内的晶片格位置逐格升降，以配合所述晶片传输单元将晶片逐片地载入晶匣；所述第一机械手用于抓取晶匣，并在所述收料装置与所述晶匣缓存单元之间传递晶匣。 7.根据权利要求6所述的自动收料系统，其特征在于，所述第一机械手为四轴机械手，所述四轴机械手用于使抓取到的晶匣沿X轴、Y轴、Z轴或θ轴运动。 8.根据权利要求6所述的自动收料系统，其特征在于，在所述第一机械手上设有抓取装置，所述抓取装置包括上夹持机构和下夹持机构；所述上夹持机构和所述下夹持机构用于分别从晶匣的顶部和底部共同作用，夹持住晶匣。 9.根据权利要求1所述的自动收料系统，其特征在于，所述晶片传输单元包括第三传送装置以及第二机械手；所述第三传送装置用于从上游设备接收晶片，并朝向所述晶片装载单元传送晶片；所述第二机械手用于从所述第三传送装置上拾取晶片，并将晶片送至所述晶片装载单元中的空载的晶匣内。 10.根据权利要求1～9任一项所述的自动收料系统，其特征在于，所述系统还包括：晶匣储存平台，所述晶匣储存平台用于为所述晶片装载单元提供晶匣暂放空间。
所属类别：	实用新型