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原文传递 一种检测铝蚀刻液中混酸含量的方法
专利名称: 一种检测铝蚀刻液中混酸含量的方法
摘要: 本申请提供了一种检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,包括:提供来源于同一铝蚀刻液的三份待测样品,分别命名为第一待测样品、第二待测样品和第三待测样品;在第一待测样品中加入甲醇,用氢氧化钠滴定第一待测样品的甲醇溶液,检测铝蚀刻液中的硝酸浓度;将第二待测样品与饱和食盐水混合,用氢氧化钠滴定第二待测样品的饱和食盐水溶液,检测铝蚀刻液中的磷酸浓度;将第三待测样品与纯水混合,用氢氧化钠滴定第三待测样品的水溶液,检测铝蚀刻液中的氢离子的总浓度;根据铝蚀刻液中的氢离子的总浓度、铝蚀刻液中的硝酸浓度、铝蚀刻液中的磷酸浓度,计算铝蚀刻液中的醋酸浓度。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 广东;44
申请人: 惠科股份有限公司
发明人: 李黎;蒋萌;曾以亚
专利状态: 有效
申请日期: 2019-01-10T00:00:00+0800
发布日期: 2019-05-10T00:00:00+0800
申请号: CN201910022827.5
公开号: CN109738577A
代理机构: 深圳中一专利商标事务所
代理人: 高星
分类号: G01N31/16(2006.01);G;G01;G01N;G01N31
申请人地址: 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼
主权项: 1.一种检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,其特征在于,包括以下步骤: 提供来源于同一铝蚀刻液的三份待测样品,分别命名为第一待测样品、第二待测样品和第三待测样品; 在所述第一待测样品中加入甲醇,得到第一待测样品的甲醇溶液,用氢氧化钠滴定所述第一待测样品的甲醇溶液,检测所述铝蚀刻液中的硝酸浓度; 将所述第二待测样品与饱和食盐水混合,得到第二待测样品的饱和食盐水溶液,用氢氧化钠滴定所述第二待测样品的饱和食盐水溶液,检测所述铝蚀刻液中的磷酸浓度; 将所述第三待测样品与纯水混合,得到第三待测样品的水溶液,用氢氧化钠滴定所述第三待测样品的水溶液,检测所述铝蚀刻液中的氢离子的总浓度; 根据所述铝蚀刻液中的氢离子的总浓度、所述铝蚀刻液中的硝酸浓度、所述铝蚀刻液中的磷酸浓度,计算所述铝蚀刻液中的醋酸浓度。 2.如权利要求1所述的检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,其特征在于,在所述第一待测样品中加入甲醇,得到第一待测样品的甲醇溶液的步骤中,按照所述第一待测样品与所述甲醇的质量体积比为1g:55~65ml的比例配置所述第一待测样品的甲醇溶液。 3.如权利要求1所述的检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,其特征在于,将所述第二待测样品与饱和食盐水混合,得到第二待测样品的饱和食盐水溶液的步骤中,按照所述第二待测样品与所述饱和食盐水的质量体积比为1g:55~65ml配置所述第二待测样品的饱和食盐水溶液。 4.如权利要求3所述的检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,其特征在于,将所述第二待测样品与饱和食盐水混合,得到第二待测样品的饱和食盐水溶液的步骤中,先将三分之一的所述饱和食盐水与所述第二待测样品混合后,再加入三分之二的所述饱和食盐水。 5.如权利要求1所述的检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,其特征在于,在所述第三待测样品与纯水混合,得到第三待测样品的水溶液的步骤中,按照所述第三待测样品与所述纯水的质量体积比为1g:55~65ml配置所述第三待测样品的水溶液。 6.如权利要求5所述的检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,其特征在于,在所述第三待测样品与纯水混合,得到第三待测样品的水溶液的步骤中,先将三分之一的所述纯水与所述第三待测样品混合后,再加入三分之二的所述纯水。 7.如权利要求1-6任一项所述的检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,其特征在于,所述用氢氧化钠滴定所述第三待测样品的水溶液的方法为:用所述氢氧化钠滴定所述第三待测样品的水溶液,以最后一个等当点作为滴定终点,计算所述铝蚀刻液中的氢离子的总浓度。 8.如权利要求1-6任一项所述的检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,其特征在于,所述氢氧化钠为浓度0.8~1.2mol/L的氢氧化钠标准水溶液。 9.如权利要求1-6任一项所述的检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,其特征在于,平行检测三次所述铝蚀刻液中的硝酸浓度,取平均值;平行检测三次所述铝蚀刻液中的磷酸浓度,取平均值;平行检测三次所述铝蚀刻液中的氢离子的总浓度,取平均值。 10.如权利要求1-6任一项所述的检测铝蚀刻液中混酸含量的方法,其特征在于,包括以下步骤: 提供来源于同一铝蚀刻液的三份待测样品,分别命名为第一待测样品、第二待测样品和第三待测样品; 按照第一待测样品和甲醇的质量体积比为1g:60ml的比例,在所述第一待测样品中加入甲醇,得到第一待测样品的甲醇溶液,用氢氧化钠滴定所述第一待测样品的甲醇溶液,记录滴定终点消耗的所述氢氧化钠的体积,根据消耗的所述氢氧化钠的体积、浓度,计算所述铝蚀刻液中的硝酸浓度; 按照第二待测样品和饱和食盐水的质量体积比为1g:20ml的比例,在所述第二待测样品中加入饱和食盐水混合,然后按照第二待测样品和饱和食盐水的质量体积比为1g:40ml的比例继续加入所述饱和食盐水,得到第二待测样品的饱和食盐水溶液,用氢氧化钠滴定所述第二待测样品的饱和食盐水溶液,记录滴定终点消耗的所述氢氧化钠的体积,根据消耗的所述氢氧化钠的体积、浓度,计算所述铝蚀刻液中的磷酸浓度; 按照第三待测样品和纯水的质量体积比为1g:20ml的比例,在所述第三待测样品中加入纯水混合,然后按照第三待测样品和纯水的质量体积比为1g:40ml的比例继续加入所述纯水,得到第三待测样品的水溶液,用氢氧化钠滴定所述第三待测样品的水溶液,以最后一个等当点作为滴定终点,记录滴定终点消耗的所述氢氧化钠的体积,根据消耗的所述氢氧化钠的体积、浓度,计算所述铝蚀刻液中的氢离子的总浓度; 根据所述铝蚀刻液中的氢离子的总浓度、所述铝蚀刻液中的硝酸浓度、所述铝蚀刻液中的磷酸浓度,计算所述铝蚀刻液中的醋酸浓度。
所属类别: 发明专利
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