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衬底移送轴用支撑块及利用该支撑块的衬底移送装置
| 专利名称： | 衬底移送轴用支撑块及利用该支撑块的衬底移送装置 |
| 摘要： | 本发明公开一种衬底移送轴用支撑块及利用该支撑块的衬底移送装置。 在本发明中，用于向支撑衬底移送轴的轴承供给润滑液的通道被埋设在衬底 移送轴用支撑块的内部，从而不必另设外部润滑油供给管，因此改善了其美 观性，且更容易维护及维修衬底移送装置。并且，独立的个体单位支撑块根 据相互连接的结构而形成衬底移送框架时，相对于独立的一体结构的现有技 术，不仅在形成润滑液供给线等的加工及制造方面非常有利，而且在搬运和 保管及现场设置也变得更加容易。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 发明人： | 卢镇成;李在成 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-07-30T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810144706.X |
| 公开号： | CN101359587 |
| 代理机构： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 韩明星;金玉兰 |
| 分类号： | H01L21/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 韩国京畿道安城市 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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