原文传递
颗粒清除单元及具有该单元的基片传送装置
| 专利名称： | 颗粒清除单元及具有该单元的基片传送装置 |
| 摘要： | 一种传送基片的装置中，分区壁以垂直方向设在所述壳体中，以将所述壳 体的内部空间分为第一空间与第二空间。压力生成部件，其将所述第一空间分 为上空间与下空间，并且其可在所述第一空间中以垂直方向移动以使所述上空 间与所述下空间交替生成正压与负压。基片支撑部件，其可移动地设在所述第 二空间中以支撑及传送所述基片。设在所述壳体的侧壁与分区壁的多扇门，通 过所述正压与负压打开及关闭所述门以使所述颗粒经由所述第一空间从所述 第二空间清除至所述外部空间。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 细美事有限公司 |
| 发明人： | 安英基;郑载正;成保蓝璨;具教旭 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-09-19T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810215297.8 |
| 公开号： | CN101391256 |
| 代理机构： | 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 尹洪波 |
| 分类号： | B08B5/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 韩国忠南天安市业成洞623-5番地 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
