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原文传递片材表面洁净度测量方法

专利名称：	片材表面洁净度测量方法
摘要：	本发明公开的片材表面洁净度测量方法，包括步骤：提供洁净度测量装置，其包括载物台、滴液件和摄像头，所述滴液件与所述载物台相对设置，所述摄像头位于所述载物台的一侧；提供具有待测表面的片材；将所述片材置于所述载物台，使所述待测表面与所述滴液件相对，利用所述滴液件在所述待测表面施加至少一个液滴；利用所述摄像头对所述至少一个液滴取相；以及根据所述至少一个液滴的成相，确定所述片材的待测表面的洁净度。该测量方法可量化，能减少误判，便于硅片表面质量分级管控，降低不必要的后道工艺损失。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	陕西;61
申请人：	隆基绿能科技股份有限公司
发明人：	魏超锋;邓浩;李梦飞;张超;辛丽
专利状态：	有效
申请日期：	2017-11-07T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-14T00:00:00+0800
申请号：	CN201711085968.9
公开号：	CN109752389A
代理机构：	西安弘理专利事务所
代理人：	钟欢
分类号：	G01N21/94(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	710100 陕西省西安市长安区航天中路388号
主权项：	1.片材表面洁净度测量方法，包括步骤：提供洁净度测量装置，其包括载物台、滴液件和摄像头，所述滴液件与所述载物台相对设置，所述摄像头位于所述载物台的一侧；提供具有待测表面的片材；将所述片材置于所述载物台，使所述待测表面与所述滴液件相对，利用所述滴液件在所述待测表面施加至少一个液滴；利用所述摄像头对所述至少一个液滴取相；以及根据所述至少一个液滴的成相，确定所述片材的待测表面的洁净度。 2.如权利要求1所述的片材表面洁净度测量方法，其特征在于，根据所述至少一个液滴的成相，测量所述至少一个液滴的接触角，分析所述至少一个液滴的接触角测量结果，确定所述片材的待测表面的洁净度。 3.如权利要求2所述的片材表面洁净度测量方法，其特征在于，所述片材的待测表面为多边形、且具有N个边缘，利用所述滴液件在所述待测表面施加至少一个液滴时，在所述待测表面靠近所述N个边缘处分别施加一个液滴。 4.如权利要求3所述的片材表面洁净度测量方法，其特征在于，利用所述滴液件在所述待测表面施加至少一个液滴时，在所述待测表面的中心处施加一个液滴。 5.如权利要求4所述的片材表面洁净度测量方法，其特征在于，根据所述至少一个液滴的接触角平均值确定所述片材的待测表面的洁净度等级。 6.如权利要求5所述的片材表面洁净度测量方法，其特征在于，设置所述至少一个液滴的接触角平均值界限A和B，其中A＜B，根据表面清洁度品质从高到低、将所述片材依次分为I级、II级和III级，当所述至少一个液滴的接触角平均值＜A、该片材为I级；当A≤所述至少一个液滴的接触角平均值＜B、该片材为II级；当至少一个液滴的接触角平均值≥B、该片材为III级。 7.如权利要求6所述的片材表面洁净度测量方法，其特征在于，当所述至少一个液滴的接触角平均值＜A时，若存在A≤某个液滴的接触角值＜B的情况，则在该液滴附近取点重测，以确定是否将该片材降为II级；设接触角平均值界限C＞B，当A≤所述至少一个液滴的接触角平均值＜B时，若存在B≤某个液滴的接触角值＜C的情况，则在该液滴附近取点重测，以确定是否降为III级。 8.如权利要求7中所述的片材表面洁净度测量方法，其特征在于，当所述至少一个液滴的接触角平均值＜A时，存在A≤某个液滴的接触角值＜B的情况的，若重测得的A≤液滴接触角值＜B的点为多个，将该片材降为II级；当A≤所述至少一个液滴的接触角平均值＜B时，存在B≤某个液滴的接触角值＜C的情况的，若重测得的B≤液滴接触角值＜C的点为多个，将该片材降为III级。 9.如权利要求1至8中任一项所述的片材表面洁净度测量方法，其特征在于，所述洁净度测量装置还包括光源，所述光源位于所述载物台远离所述摄像头的另一侧，利用所述摄像头对所述液滴取相时，所述光源为开启状态。 10.如权利要求9所述的片材表面洁净度测量方法，其特征在于，所述洁净度测量装置还包括信号连接于所述摄像头的数据处理模块，所述数据处理模块接收来自所述摄像头的成相并计算接触角结果；所述洁净度测量装置还包括信号连接于所述数据处理模块的显示器，所述显示器用于显示所述接触角结果。
所属类别：	发明专利