详情

原文传递一种晶圆片表面洁净度检测装置

专利名称：	一种晶圆片表面洁净度检测装置
摘要：	本实用新型公开了一种晶圆片表面洁净度检测装置，包括检测组件、放置基台、顶料组件、转运机械手和用于进行整体控制的外部控制器，放置基台的内部剖设有中空槽，中空槽的上部四周成型有用于放置晶圆片的搭接台阶，顶料组件包括顶料驱动气缸和顶料板，顶料驱动气缸设置在放置基台的底部下方并与中空槽位置相对应，且顶料板与顶料驱动气缸的伸缩端固接，检测组件包括CCD高清相机和机架，机架固设在放置基台的后部，CCD高清相机固设在机架的最高位底部，转运机械手设置在放置机台的旁侧，本实用新型能实现对清洗后的晶圆进行转运上料、检测以及转运下料，自动化程度较高，相较于现有技术中的人工检测工艺，工作效率大大提高，也降低了企业的生产成本。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	昆山基侑电子科技有限公司
发明人：	周志刚;王静强;徐福兴;黄锡钦;陈亮
专利状态：	有效
申请日期：	2021-05-21T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-15T00:00:00+0800
申请号：	CN202121101947.3
公开号：	CN216051436U
分类号：	G01N21/95;G01N21/01;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/95;G01N21/01
申请人地址：	215000 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房
主权项：	1.一种晶圆片表面洁净度检测装置，其特征在于，包括检测组件、放置基台、顶料组件、转运机械手和用于进行整体控制的外部控制器，所述放置基台的内部剖设有中空槽，所述中空槽的上部四周成型有用于放置晶圆片的搭接台阶，所述顶料组件包括顶料驱动气缸和顶料板，所述顶料驱动气缸设置在放置基台的底部下方并与中空槽位置相对应，且所述顶料板与顶料驱动气缸的伸缩端固接，所述检测组件包括CCD高清相机和机架，所述机架固设在放置基台的后部，所述CCD高清相机固设在机架的最高位底部，所述转运机械手设置在放置机台的旁侧以将晶圆片进行搬运。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面洁净度检测装置，其特征在于，所述CCD高清相机的下部套设有环形光源。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面洁净度检测装置，其特征在于，所述顶升板的上表面设置有保护橡胶垫。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面洁净度检测装置，其特征在于，所述机架的顶部设置有与外部控制器电性连接的报警装置。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面洁净度检测装置，其特征在于，所述转运机械手包括旋转驱动气缸、旋转支撑臂、升降驱动气缸和气动吸盘，所述旋转驱动气缸设置在放置机台的旁侧，所述旋转支撑臂一端与旋转驱动气缸的输出端固接，所述升降驱动气缸固设在旋转支撑臂的另一端，所述气动吸盘与升降驱动气缸的伸缩轴固接。
所属类别：	实用新型