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原文传递晶圆片的光谱测试装置

专利名称：	晶圆片的光谱测试装置
摘要：	本实用新型公开了晶圆片的光谱测试装置，其结构包括装置本体、控制装置、旋钮、显示器、传感器、底座和电池，所述装置本体的底部设有底座，所述装置本体的上部前方位置设有伸缩按钮，所述伸缩按钮的中部位置设有固定架，所述固定架的上部设有旋钮，所述装置本体上部右侧位置设有显示器，所述底座的内部组从俄位置设有控制装置，所述控制装置的上部设有传输管，所述传输管的上部设有光源发射装置，所述光源发射装置的左侧上下位置设有扩光板，所述控制装置的上部右侧位置设有伸缩杆，所述装置本体右侧底部设有外接电源。该晶圆片的光谱测试装置，通过装置本体上的传感器及光源发射装置，方便了装置对晶圆片进行点阵测量，提高了测量数据的可靠性。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江西;36
申请人：	江西点亮科技有限公司
发明人：	张栖源
专利状态：	有效
申请日期：	2018-03-07T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-17T00:00:00+0800
申请号：	CN201820312568.0
公开号：	CN209400406U
代理机构：	北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	宋平
分类号：	G01N21/27(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	335400 江西省鹰潭市贵溪市经济开发区创新创业园9栋
主权项：	1.晶圆片的光谱测试装置，其结构包括装置本体（1）、控制装置（2）、传输管（3）、光源发射装置（4）、伸缩杆（5）、伸缩按钮（6）、扩光板（7）、固定架（8）、电极测试端子（9）、旋钮（10）、显示器（11）、传感器（12）、外接电源（13）、底座（14）和电池（15），其特征在于：所述装置本体（1）的底部设有底座（14），所述装置本体（1）的上部前方位置设有伸缩按钮（6），所述伸缩按钮（6）的中部位置设有固定架（8），所述固定架（8）的上部设有旋钮（10），所述装置本体（1）上部右侧位置设有显示器（11）；所述底座（14）的内部左侧位置设有控制装置（2），所述控制装置（2）的上部设有传输管（3），所述传输管（3）的上部设有光源发射装置（4），所述光源发射装置（4）的左侧上下位置设有扩光板（7），所述控制装置（2）的上部右侧位置设有伸缩杆（5），所述装置本体（1）右侧底部设有外接电源（13）。 2.根据权利要求1所述的晶圆片的光谱测试装置，其特征在于：所述伸缩杆（5）的上部与固定架（8）的中部空隙位置对应。 3.根据权利要求1所述的晶圆片的光谱测试装置，其特征在于：所述固定架（8）的中间位置设有电极测试端子（9）。 4.根据权利要求1所述的晶圆片的光谱测试装置，其特征在于：所述装置本体（1）内部右侧中间位置设有传感器（12），所述传感器（12）为光电传感器。 5.根据权利要求1所述的晶圆片的光谱测试装置，其特征在于：所述外接电源（13）与装置本体（1）内部的电池（15）相连接，所述电池（15）的种类为蓄电池。
所属类别：	实用新型