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原文传递可锁止的晶圆片放置架

专利名称：	可锁止的晶圆片放置架
摘要：	本发明实施例公开了一种可锁止的晶圆片放置架。本发明的晶圆片放置架，包括：放置架本体和第一机械抽头，放置架本体的左右侧板上对应设有多组放置槽，用于水平放置晶圆片，放置架本体的左侧板上设有竖直的第一滑槽，第一机械抽头设有多组与放置槽对应的多组第一进入槽，第一机械抽头可移动的设置在第一滑槽内。本发明的晶圆片放置架，第一机械抽头上升时，第一进入槽与放置槽相互连通，晶圆片可放入和取出放置架本体；第一机械抽头在重力作用下下降时，第一进入槽与放置槽相互错开，放置架本体内的晶圆片被第一机械抽头阻挡锁止，晶圆片不会从放置架本体内滑出，保证晶圆片不被损坏。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	紫光宏茂微电子(上海)有限公司
发明人：	谢秩生;杨纯利
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201910277028.2
公开号：	CN109968549A
代理机构：	上海市嘉华律师事务所
代理人：	黄琮;傅云
分类号：	B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	201700 上海市青浦区工业园区崧泽大道9688号
主权项：	1.一种可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，包括：放置架本体和第一机械抽头；所述放置架本体包括顶板、底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板上对应设有多组放置槽，对应的一组左放置槽与右放置槽位于相同高度，用于水平放置晶圆片；所述第一侧板上设有竖直的第一滑槽；所述第一机械抽头设有与所述多组放置槽对应的多组第一进入槽；所述第一机械抽头可移动的设置在所述第一滑槽内，且所述第一机械抽头下降时，所述第一进入槽与所述放置槽相互错开，用于使所述放置槽阻断，所述第一机械抽头上升时，所述第一进入槽与所述放置槽相互连通，使所述放置槽开放。 2.根据权利要求1所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，还包括：第一联锁机构和第一防刮伤治具；所述第一联锁机构设置在所述第一侧板的上部，用于触发时带动所述第一机械抽头上升；所述第一防刮伤治具用于放置在所述第一侧板上，并使所述第一防刮伤治具位于所述第一侧板的前端；所述第一防刮伤治具上设有多组第一校准槽，所述第一校准槽的高度大于晶圆片的厚度，且小于两块晶圆片的厚度；所述多组第一校准槽与所述多组放置槽对应，且第一校准槽的底面与对应的放置槽的底面位于同一平面，所述第一校准槽用于供晶圆片插入；且所述第一防刮伤治具放置在所述第一侧板上时，触发所述第一联锁机构，使所述第一机械抽头上升。 3.根据权利要求2所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一机械抽头的顶部设有第一挡条；所述第一联锁机构包括：第一左固定块、第一右固定块、第一转轴和第一活动块；所述第一左固定块和所述第一右固定块分别设置在所述第一机械抽头的左右两侧；所述第一转轴的一端与所述第一左固定块连接，所述第一转轴的另一端与所述第一右固定块连接；所述第一活动块可转动的设置在所述第一转轴上，且所述第一活动块与所述第一挡条相抵持；且所述第一防刮伤治具放置时，触发所述第一活动块转动，所述第一活动块转动时带动所述第一机械抽头上升。 4.根据权利要求3所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一防刮伤治具设有第一连接部，所述第一连接部设有与所述第一侧板的顶端适配的第一U型槽，所述第一U型槽用于与所述第一侧板的顶端卡接。 5.根据权利要求4所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一连接部上设有第一矩形孔，所述第一矩形孔用于供所述第一机械抽头穿过，且所述第一防刮伤治具放置时，所述第一连接部抵持所述第一活动块，使所述第一活动块转动。 6.根据权利要求3所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一转轴为丝杆，所述第一转轴的两端呈台阶形；所述第一活动块设有内螺纹，所述第一活动块啮合在所述丝杆上，使所述第一活动块与所述第一转轴可转动连接；所述第一左固定块和所述第一右固定块设有安装孔，分别供所述第一转轴的左右两端插入。 7.根据权利要求3所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一左固定块和所述第一右固定块上设有第一固定孔；所述第一侧板上设有第一螺纹孔，使所述第一左固定块和所述第一右固定块通过固定螺栓与所述第一侧板连接。 8.根据权利要求2所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，还包括：第二机械抽头、第二联锁机构和第二防刮伤治具；所述第二侧板上设有竖直的第二滑槽；所述第二机械抽头设有与所述多组放置槽对应的多组第二进入槽；所述第二机械抽头可移动的设置在所述第二滑槽内，且所述第二机械抽头下降时，所述第二进入槽与所述放置槽相互错开，用于使所述放置槽阻断，所述第二机械抽头上升时，所述第二进入槽与所述放置槽相互连通，使所述放置槽开放；所述第二联锁机构设置在所述第二侧板的上部，用于触发时带动所述第二机械抽头上升；所述第二防刮伤治具用于放置在所述第二侧板上，并使所述第二防刮伤治具位于所述第二侧板的前端；所述第二防刮伤治具上设有多组第二校准槽，所述第二校准槽的高度大于晶圆片的厚度，且小于两块晶圆片的厚度；对应的一组第一校准槽与第二校准槽位于同一高度，用于供晶圆片插入；且所述第一防刮伤治具和所述第二防刮伤治具分别放置在所述第一侧板和第二侧板上时，分别触发所述第一联锁机构和第二联锁机构，使所述第一机械抽头和所述第二机械抽头同时上升。 9.根据权利要求8所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一校准槽和所述第二校准槽的前端呈向外扩张的喇叭状。 10.根据权利要求8所述的可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，所述第一防刮伤治具和所述第二防刮伤治具的材质为特氟龙。
所属类别：	发明专利