详情

原文传递晶圆的输送装置

专利名称：	晶圆的输送装置
摘要：	本实用新型公开了一种晶圆的输送装置，包括：滑轨，所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽；滑块，所述滑块可移动地设在所述滑槽内，所述晶圆与所述滑块相连；防护罩，所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽，所述防护罩位于所述滑块上方；支撑件，所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动，所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。根据本实用新型实施例的晶圆的输送装置具有干净整洁、使用寿命长、精度高等优点。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
发明人：	王剑;董兵超;许振杰;姚宇;尹士龙;崔凯;王同庆;路新春
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201820302926.X
公开号：	CN208120095U
代理机构：	北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人：	黄德海
分类号：	B65G35/00(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G35;B65G35/00
申请人地址：	100084 北京市海淀区清华园
主权项：	1.一种晶圆的输送装置，其特征在于，包括：滑轨，所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽；滑块，所述滑块可移动地设在所述滑槽内，所述晶圆与所述滑块相连；防护罩，所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽，所述防护罩位于所述滑块上方；支撑件，所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动，所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。
所属类别：	实用新型