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原文传递晶圆载运装置

专利名称：	晶圆载运装置
摘要：	一种晶圆载运装置包含一盒体、一盖体及一感测电路组。盒体包含一第一插槽。盖体包含一第二插槽。第二插槽与第一插槽共平面，用以共同定位一半导体晶圆。感测电路组包含一警示装置、一第一感测器、一第二感测器及一指示电路。举例来说，第一感测器位于第一插槽内，用以独立地感测该第一插槽内是否具有半导体晶圆。第二感测器位于第二插槽内，用以独立地感测第二插槽内是否具有半导体晶圆。指示电路电性连接第一感测器、第二感测器与警示装置，用以因应第一感测器与第二感测器分别的感测结果而发出指示信号至警示装置。故，通过以上架构，晶圆载运装置得以有效地降低破片机率，以及至少厘清半导体晶圆产生破片的场所。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	创意电子股份有限公司
发明人：	池竹芳;廖致傑;高嘉人
专利状态：	有效
申请日期：	2018-03-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-17T00:00:00+0800
申请号：	CN201810193100.9
公开号：	CN110239819A
代理机构：	北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人：	徐金国
分类号：	B65D25/10(2006.01);B;B65;B65D;B65D25
申请人地址：	中国台湾新竹科学园区力行六路10号
主权项：	1.一种晶圆载运装置，其特征在于，包含：一盒体，包含至少一第一插槽；一第一侧架，位于该盒体内，具有至少一第一狭缝；一第二侧架，位于该盒体内，相对该第一侧架，具有至少一第二狭缝，该第二狭缝与该第一狭缝相互面对；一盖体，可分离地盖合该盒体，包含至少一第二插槽，该第二插槽与该第一插槽共平面且相互面对，且该第一狭缝、该第二狭缝、该第一插槽与该第二插槽共平面，用以共同定位一半导体晶圆；以及至少一感测电路组，包含：一警示装置；一第一感测器，位于该盒体内，用以独立地感测该第一插槽内是否具有该半导体晶圆；一第二感测器，与该第一感测器共平面，用以独立地感测该第一插槽内是否具有该半导体晶圆；以及一指示电路，电性连接该第一感测器、该第二感测器与该警示装置，用以因应该第一感测器与该第二感测器的感测结果而相应地发出多种指示信号其中之一至该警示装置。 2.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，该第一感测器位于该第一插槽内，且该第二感测器位于该第二插槽内。 3.根据权利要求2所述的晶圆载运装置，其特征在于，该感测电路组包含：一第一导体图案，位于该盒体上，且电性连接该指示电路与该第一感测器；以及一第二导体图案，位于该盖体上，且电性连接该第二感测器与该警示装置，其中，当该盖体盖合该盒体，以致该第一导体图案实体接触该第二导体图案时，该感测电路组的该指示电路电性接通该第二感测器与该警示装置。 4.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，该第一感测器位于该第一狭缝内，该第二感测器位于该第二狭缝内。 5.根据权利要求3或4所述的晶圆载运装置，其特征在于，该至少一第一插槽、该至少一第二插槽、该至少一第一狭缝、该至少一第二狭缝与该至少一感测电路组分别为多个时，该些第一插槽、该些第二插槽、该些第一狭缝与该些第二狭缝皆沿一排列方向平行排列；以及该晶圆载运装置还包含：一计数器，电性连接该些感测电路组的该些指示电路，用以对该些指示电路所发出的该些指示信号的数量进行计数；以及一显示器，电性连接该计数器，用以显示该些指示信号的该数量。 6.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，该警示装置还包含：多个不同颜色的发光单元，位于该盖体，电性连接该指示电路，其中该指示电路所发出的该其中一种指示信号点亮该些发光单元其中之一。 7.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，该警示装置还包含一绿色发光单元、一红色发光单元与一蓝色发光单元，该绿色发光单元、该红色发光单元与该蓝色发光单元分别电性连接该指示电路，其中，当该第一感测器与该第二感测器皆感测到该半导体晶圆时，该指示电路所发出的该其中一种指示信号点亮该绿色发光单元，当该第一感测器与该第二感测器皆未感测到任何物体时，该指示电路所发出的该其中一种指示信号点亮该蓝色发光单元，或者当该第一感测器或该第二感测器感测到该半导体晶圆时，该指示电路所发出的该其中一种指示信号点亮该红色发光单元。 8.根据权利要求7所述的晶圆载运装置，其特征在于，该绿色发光单元、该红色发光单元与该蓝色发光单元共同地封装于一发光二极管模块内，且该些发光二极管模块排列于该盖体上。 9.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，该第一感测器与该第二感测器至少其中之一为一压力感测器、一光收发感测器、一磁阻式感测器或一实体按钮开关。 10.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，还包含：一记录器；以及一重力传感器，固设于该盖体或该盒体上，电性连接该记录器，用以在该晶圆载运装置受到摔落时发出信号至该记录器。
所属类别：	发明专利