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改进紧固件的方法和设备
| 专利名称： | 改进紧固件的方法和设备 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于等离子体处理系统的改进零件，并且更具体 地涉及用于等离子体处理室的内部室零件的紧固件。此外，本发明涉 及制造这种紧固件的方法。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 史蒂文·T·菲恩克 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-01-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200480001381.X |
| 公开号： | CN1705561 |
| 分类号： | B32B15/04 |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 主权项： | 1.一种用于等离子体处理系统的紧固件，包括： 扩大的头； 啮合段；以及 抗等离子体涂层。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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