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原文传递光学检查装置

专利名称：	光学检查装置
摘要：	本发明的目的在于提供光学检查装置，无论缺陷处于非检查物的端面的哪个位置，都能够通过一个装置并通过一次检查来检查缺陷。本发明的光学检查装置在使用一维摄像单元(13)大致铅垂地从上方对被检查物(G)进行拍摄时，从设置在大致半圆筒面的第1区域(31)以及形成在第1区域(31)的两端的大致半球面或者大致半椭圆球面的第2区域(32)以及第3区域(33)的多个发光部(30a)向被检查物(G)照射光，其中，第1区域(31)的中心轴(ax)位于包含一维摄像单元(13)的大致铅垂方向的面的中心面(S1)上。在第1区域(31)中，在中心面(S1)的附近以外的区域，沿与被检查物(G)的传送方向(F)大致正交的方向排列有发光部(30a)。此外，在第2区域(32)以及第3区域(33)中，在中心面(S1)上的位置排列有发光部(30a)。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社V技术
发明人：	米泽良
专利状态：	有效
申请日期：	2017-11-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-24T00:00:00+0800
申请号：	CN201780062143.7
公开号：	CN109804238A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	朴英淑
分类号：	G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本神奈川县
主权项：	1.一种光学检查装置，其特征在于，具备：搭载部，在水平方向上搭载被检查物；传送部，使搭载于所述搭载部的所述被检查物沿传送方向移动；一维摄像单元，大致铅垂地从上方对所述被检查物进行拍摄，且被配置成长边方向与所述传送方向大致正交；以及光照射部，具有多个向所述被检查物照射光的发光部，所述光照射部具有：大致半圆筒面的第1区域，中心轴位于作为包含所述一维摄像单元的大致铅垂方向的面的中心面上；以及大致半球面或者大致半椭圆球面的第2区域及第3区域，形成在所述第1区域的两端，在所述第1区域中，具有多个沿与所述传送方向大致正交的方向排列了所述发光部的带状发光部，所述带状发光部设置在所述第1区域中所述中心面的附近以外的区域，在所述第2区域以及所述第3区域中，所述发光部排列在所述中心面上。 2.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，所述带状发光部被设置成光轴与所述中心面和所述搭载部的上表面的交线交叉，所述带状发光部具有光轴与所述中心面所成的角度大致为8度或者大致为17度的第1带状发光部。 3.根据权利要求2所述的光学检查装置，其特征在于，所述光学检查装置具备：控制部，控制所述传送部以一定的速度传送所述被检查物，并驱动所述一维摄像单元以恒定的间隔对图像进行拍摄，并且与所述一维摄像单元的拍摄同步地，使所述第1区域的被所述中心面划分的一半区域的第1发光区域、所述第1区域当中所述第1发光区域以外的第2发光区域、所述第2区域当中所述中心面上的第3发光区域、所述第3区域当中所述中心面上的第4发光区域和所述第1带状发光部分别进行照射。 4.根据权利要求1～3中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述光照射部具有配置在所述带状发光部与所述中心面和所述搭载部的上表面的交线之间的柱面透镜。 5.根据权利要求1～4中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述光学检查装置具备：第1摄像单元，设置在所述搭载部的上侧或者下侧；第2摄像单元，与所述第1摄像单元夹着所述搭载部被设置在相反侧，使得光轴与所述第1摄像单元的光轴一致；第1同轴照明，从法线方向向所述被检查物照射平行光，且是所述第1摄像单元的同轴照明；以及第2同轴照明，与所述第1同轴照明夹着所述搭载部被设置在相反侧，且是所述第2摄像单元的同轴照明，向所述第1摄像单元入射从所述第1同轴照明照射并由所述被检查物正反射的光，向所述第2摄像单元入射从所述第2同轴照明照射并由所述被检查物正反射的光以及从所述第1同轴照明照射并透过了所述被检查物的光。 6.根据权利要求5所述的光学检查装置，其特征在于，所述光学检查装置具备：第2控制部，控制所述传送部以一定的速度传送所述被检查物，并对所述第1摄像单元以及所述第2摄像单元进行驱动，以便以第1方式、第2方式、第3方式这三种照射模式使所述第1同轴照明或者所述第2同轴照明进行照射，并且，与所述第1方式的照射匹配地由所述第1摄像单元取得图像，与所述第2方式的照射匹配地由所述第2摄像单元取得图像，与所述第3方式的照射匹配地由所述第2摄像单元取得图像，其中，在所述第1方式下，以第1强度使所述第1同轴照明进行照射，在所述第2方式下，以所述第1强度使所述第2同轴照明进行照射，在所述第3方式下，以第2强度使所述第1同轴照明进行照射。 7.根据权利要求1～4中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述光学检查装置具备：第2摄像单元，与所述一维摄像单元夹着所述搭载部被设置在相反侧，使得光轴与所述一维摄像单元的光轴一致；第1同轴照明，从法线方向向所述被检查物照射平行光，且是所述一维摄像单元的同轴照明；以及第2同轴照明，与所述第1同轴照明夹着所述搭载部被设置在相反侧，且是所述第2摄像单元的同轴照明，所述光照射部设置在所述一维摄像单元与所述传送部之间，向所述一维摄像单元入射从所述光照射部或者所述第1同轴照明照射并由所述被检查物正反射的光，向所述第2摄像单元入射从所述第2同轴照明照射并由所述被检查物正反射的光以及从所述第1同轴照明照射并透过了所述被检查物的光。 8.根据权利要求7所述的光学检查装置，其特征在于，所述光学检查装置具备：第3控制部，控制所述传送部以一定的速度传送所述被检查物，并对所述一维摄像单元以及所述第2摄像单元进行驱动，以便以第1方式、第2方式、第3方式这三种照射模式使所述第1同轴照明或者所述第2同轴照明进行照射，并且，与所述第1方式的照射匹配地由所述一维摄像单元取得图像，与所述第2方式的照射匹配地由所述第2摄像单元取得图像，与所述第3方式的照射匹配地由所述第2摄像单元取得图像，其中，在所述第1方式下，使所述第1同轴照明以第1强度进行照射，在所述第2方式下，使所述第2同轴照明以所述第1强度进行照射，在所述第3方式下，使所述第1同轴照明以第2强度进行照射。 9.根据权利要求1～8中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述光照射部具有与所述发光部相邻设置且对从所述发光部照射的光进行漫射的光漫射板。 10.根据权利要求1～9中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述光学检查装置具备：焦点距离调整用光学元件，对所述一维摄像单元的焦点距离进行调整；以及反射镜，与所述搭载部相邻设置，所述焦点距离调整用光学元件以及所述反射镜设置在所述中心面上，俯视下，搭载所述被检查物的所述搭载部上的区域、即搭载区域位于所述一维摄像单元的铅垂方向下侧，俯视下，所述反射镜在与所述传送方向大致正交的方向上，被设置在所述搭载区域的外侧且与所述搭载区域相邻的位置，所述反射镜的反射面是大致平面，大致沿所述传送方向延伸设置所述反射面，使得所述反射面与所述中心面交叉的线相对于水平面倾斜，所述焦点距离调整用光学元件被配置成与将所述一维摄像单元和所述反射镜连接的线重合。 11.根据权利要求10所述的光学检查装置，其特征在于，所述焦点距离调整用光学元件是玻璃板，且被设置成与板厚方向大致正交的两端面呈水平。 12.根据权利要求1～11中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述光学检查装置具备：移动部，使所述一维摄像单元在上下方向上移动；高度取得部，取得所述被检查物的高度；以及移动控制部，基于所述高度取得部取得的信息来控制所述移动部，与通过所述一维摄像单元之下的所述被检查物的高度变化匹配地使所述一维摄像单元在上下方向上移动。 13.根据权利要求12所述的光学检查装置，其特征在于，所述高度取得部具有：面光源，向与所述传送方向大致正交的方向照射光；以及侧面摄像单元，入射从所述面光源照射并通过了所述被检查物的光。 14.根据权利要求1～13中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述光照射部在所述第2区域以及所述第3区域中具有：将所述发光部排列成一列的发光块；以及从所述发光部照射的光通过的第2柱面透镜，在所述第2区域以及所述第3区域中，所述发光块的延伸设置方向相对于水平方向倾斜，在所述第2区域以及所述第3区域中，所述第2柱面透镜的延伸设置方向相对于所述发光块的延伸设置方向倾斜。 15.根据权利要求1～14中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述光照射部具有由导热性高的材料形成的散热构件，所述发光部设置于所述散热构件。 16.根据权利要求15所述的光学检查装置，其特征在于，在所述散热构件具备送出风的送风部，所述散热构件具有多个设置了所述发光部的板，在与所述传送方向大致正交的方向上延伸设置所述板，所述送风部送出沿所述板的延伸设置方向的朝向的风。 17.根据权利要求5～8中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述第2摄像单元设置在所述搭载部的下侧，在所述第2摄像单元的上侧设置圆偏振滤波器，所述圆偏振滤波器被设置成与厚度方向大致正交的方向的平面相对于与所述第2摄像单元的光轴大致正交的方向稍稍倾斜。
所属类别：	发明专利