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一种观察透明晶片指定区域微观形貌的快速定位方法
| 专利名称： | 一种观察透明晶片指定区域微观形貌的快速定位方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种观察透明晶片指定区域微观形貌的快速定位方法。该方法分两种：1、对已知微观形貌的透明晶片特定区域进行定位，并对该位置进行其他研究；2、已知定位坐标，观察透明晶片指定区域微观形貌。该方法所设计的坐标物是由横线、竖线交叉构成的方格，在方格里填写位置编码，方格边长尺寸根据所需观察区域或显微镜观察区域设定；坐标物材质采用打印纸或采用能够定型加工、刻录标识的其它材料制作的承载物。该方法具有通用性，新研发的坐标物可在显微镜下使用，显微镜下观察的位置通过坐标物计算出几何坐标来实现精准定位，减少了工作时间和不必要的工作量，避免了在样品表面标记带来损伤和沾污，对于科研的非标产品更具显著的实用性。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 发明人： | 杨丹丹;李晖;张弛;高飞;孙雪莲;程红娟;郝建民;赖占平;李宝珠 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-03-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-05-24T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910168455.7 |
| 公开号： | CN109799242A |
| 代理机构： | 天津中环专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 王凤英 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 300220 天津市河西区洞庭路26号 |
| 主权项： | 1.一种观察透明晶片指定区域微观形貌的快速定位方法，其特征在于，该方法包括两种情况，第一种情况：对已知微观形貌的透明晶片特定区域进行定位，并对该位置进行其他研究；第二种情况：已知定位坐标，观察透明晶片指定区域微观形貌； 第一种情况有以下步骤： 步骤一，根据被测样品区域大小选取适合的坐标物； 步骤二，制作坐标物； 步骤三，将样品放置在坐标物上； 步骤四，将承载样品的坐标物放置在显微镜载物台上； 步骤五，显微镜下观察被测区域； 步骤六，确定被测区域对应坐标物上的位置，并记录位置编码； 步骤七，根据位置编码计算微观观察区域定位坐标； 步骤八，选择其它性能测试仪器对该坐标进行测试表征； 第二种情况有以下步骤： 步骤一，根据被测样品区域大小选取适合的坐标物； 步骤二，制作坐标物； 步骤三，将样品放置在坐标物上； 步骤四，将承载样品的坐标物放置在显微镜载物台上； 步骤五，根据定位坐标确定被测区域对应坐标物上的位置编码； 步骤六，显微镜下按已确认的位置编码定位观察被测区域； 步骤七，采集微观形貌图片信息； 所述的坐标物是由横线a、竖线b交叉构成的方格，在方格里填写位置编码d，方格边长为c，方格边长c尺寸根据所需观察区域或显微镜观察区域设定； 所述的坐标物材质采用打印纸或采用能够定型加工、刻录标识的其它材料制作的承载物。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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