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原文传递等离子运行状态实时监控方法、晶圆监测件和监控系统

专利名称：	等离子运行状态实时监控方法、晶圆监测件和监控系统
摘要：	本发明公开了等离子运行状态实时监控方法、晶圆监测件和监控系统，该方法包含：步骤1，在晶圆监测基体上设置反应物涂层制备晶圆监测件；步骤2，将晶圆监测件与第n批待等离子处理晶圆产品置于等离子反应腔中，反应物涂层面朝向待监测的等离子体；步骤3，开启等离子体反应腔，生成等离子体，按等离子处理晶圆产品同样的工艺条件进行等离子处理；步骤4，将经等离子处理后的第n批晶圆监测件与标准等离子运行状态的等离子体处理的晶圆监测件或第m批等离子体处理的晶圆监测件进行比较，判断等离子工作是否正常，m、n取自然数，且m＜n。本发明的实时监控方法，不影响晶圆产品的生产，能大幅降低晶圆的报废率，监测成本低，操作方法简便。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	中微半导体设备(上海)股份有限公司
发明人：	刘季霖;吴狄
专利状态：	有效
申请日期：	2017-11-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-04T00:00:00+0800
申请号：	CN201711230315.5
公开号：	CN109839388A
代理机构：	上海信好专利代理事务所(普通合伙)
代理人：	朱成之
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
主权项：	1.一种等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，该监控方法包含：步骤1，在晶圆监测基体上设置反应物涂层制备晶圆监测件；步骤2，将晶圆监测件与第n批待等离子处理晶圆产品一起置于等离子反应腔中，反应物涂层面朝向待监测的等离子体；步骤3，开启等离子体反应腔，生成等离子体，按等离子处理晶圆产品同样的工艺条件进行等离子处理；步骤4，将经等离子处理后的第n批晶圆监测件与标准等离子运行状态的等离子体处理的晶圆监测件或第m批等离子体处理的晶圆监测件进行比较，从而判断等离子工作是否正常，其中，n、m均取自然数，且m＜n。 2.如权利要求1所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，所述的晶圆监测基体选择待等离子处理晶圆样品或与晶圆样品同样的衬底。 3.如权利要求1所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，所述的反应物涂层的活性成分为一种或多种与等离子体反应后能发生颜色变化的化合物。 4.如权利要求3所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，所述的化合物包含邻苯二酸酐、苯炔、苯甲醚、环己烷、苯胺、嘌呤中的任意一种。 5.如权利要求3所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，所述的晶圆监测件还包含：通过背胶层粘结在晶圆监测基体上的薄膜层，其中，反应物涂层设置在薄膜层上。 6.如权利要求1-5中任意一项所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，晶圆监测基体两面均设置有反应物涂层。 7.如权利要求1所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，步骤4是通过监控系统监测、判断等离子工作是否正常；所述的监控系统包含：检测平台、光源、摄像装置及、与摄像装置信号连接的数据处理系统。 8.如权利要求7所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，所述的光源为标准白光灯。 9.如权利要求7所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，所述的步骤4包含：步骤4.1，将经第n批等离子体处理后的晶圆监测件置于检测平台上，采用光源进行照射；步骤4.2，使用摄像装置拍摄记录等离子体处理后的晶圆监测件上的图像信息，并将该图像信息反馈至数据处理系统；步骤4.3，通过数据处理系统将该图像信息与经标准等离子运行状态的等离子体处理的晶圆监测件或第m批等离子体处理的晶圆监测件进行比较、并经逻辑判断等离子体的运行状态是否正常。 10.如权利要求9所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，所述的图像信息包含：图像的条纹形状信息及图像的颜色的RGB值信息。 11.如权利要求10所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，所述的摄像装置为高清摄像装置，能拍摄出包含条纹形状信息及图像的颜色的RGB值信息的图像。 12.如权利要求1所述的等离子运行状态实时监控方法，其特征在于，步骤4所述的比较方法为：若差异在阈值范围内，则认为该反应腔内等离子工作状态正常；若差异超过阈值，则表示等离子工作状态不正常，需停止工作并查找原因。 13.一种用于权利要求1所述的等离子运行状态实时监控方法的晶圆监测件，其特征在于，该晶圆监测件包含：晶圆监测基体；背胶层；通过背胶层粘结在晶圆监测基体至少一个表面上的薄膜层；及设置在薄膜层上的反应物涂层；其中，反应物涂层的活性成分为一种或多种与等离子体反应后能发生颜色变化的化合物。 14.如权利要求13所述的晶圆监测件，其特征在于，所述的化合物包含邻苯二酸酐、苯炔、苯甲醚、环己烷、苯胺、嘌呤中的任意一种。 15.一种用于权利要求1所述的等离子运行状态实时监控方法的监控系统，其特征在于，该监控系统包含：检测平台、光源、摄像装置及、与摄像装置信号连接的数据处理系统；其中，检测平台用于放置经等离子处理后的晶圆监测件，光源照射到晶圆监测件上，通过摄像装置拍摄记录图像信息，并反馈至数据处理系统进行比较、判断并输出监控信息。
所属类别：	发明专利