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原文传递超声波检查装置

专利名称：	超声波检查装置
摘要：	超声波检查装置(1)是以被封装化的半导体设备(D)为检查对象的装置，具备：超声波振动器(2)，其与半导体设备(D)相对配置；介质保持部(12)，其设置于超声波振动器(2)中与半导体设备(D)相对的端部(2b)，并保持传播超声波(W)的介质(M)；平台(3)，其使半导体设备(D)与超声波振动器(2)的相对位置移动；及解析部(22)，其解析与利用超声波振动器(2)的超声波(W)的输入对应的半导体设备(D)的反应。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	浜松光子学株式会社
发明人：	松本彻
专利状态：	有效
申请日期：	2017-09-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201780066138.3
公开号：	CN109863394A
代理机构：	北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人：	杨琦
分类号：	G01N29/265(2006.01);G;G01;G01N;G01N29
申请人地址：	日本静冈县
主权项：	1.一种超声波检查装置，其中，是以被封装化的半导体设备为检查对象的超声波检查装置，具备：超声波振动器，其与所述半导体设备相对地配置；介质保持部，其设置于所述超声波振动器中与所述半导体设备相对的端部，并保持传播所述超声波的介质；平台，其使所述半导体设备与所述超声波振动器的相对位置移动；及解析部，其解析与利用所述超声波振动器的超声波的输入对应的所述半导体设备的反应。 2.如权利要求1所述的超声波检查装置，其中，所述介质保持部由设置于所述超声波振动器的所述端部的筒状构件构成。 3.如权利要求1或2所述的超声波检查装置，其中，所述介质保持部滑动自如地嵌合于所述超声波振动器的所述端部。 4.如权利要求1～3中任一项所述的超声波检查装置，其中，所述介质保持部包含调整所述介质的保持量的介质流通口。 5.如权利要求1～4中任一项所述的超声波检查装置，其中，所述介质保持部包含检测所述介质的保持量的保持量检测部。 6.如权利要求1～5中任一项所述的超声波检查装置，其中，还具备：电源装置，其对所述半导体设备施加恒定电压或恒定电流；及反应检测部，其在所述恒定电压或所述恒定电流的施加状态下，检测与所述超声波的输入对应的所述半导体设备的电流或电压，所述解析部基于来自所述反应检测部的检测信号而生成解析图像。 7.如权利要求6所述的超声波检查装置，其中，还包含：信号产生部，其对所述超声波振动器输入驱动信号，且输出与所述驱动信号对应的参考信号，所述解析部基于所述检测信号与所述参考信号而生成所述解析图像。 8.如权利要求6或7所述的超声波检查装置，其中，还包含：反射检测部，其检测由所述半导体设备反射的所述超声波的反射波，所述解析部基于来自所述反射检测部的检测信号而生成反射图像。 9.如权利要求8所述的超声波检查装置，其中，所述解析部生成将所述解析图像与所述反射图像重叠后的重叠图像。
所属类别：	发明专利