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原文传递超声波检查装置及超声波检查方法

专利名称：	超声波检查装置及超声波检查方法
摘要：	本发明的超声波检查装置(1)是以经封装化的半导体器件(D)为检查对象的装置，具备：超声波振子(2)，其对半导体器件(D)输出超声波(W)；接收机(反射检测部)(13)，其检测由半导体器件(D)反射的超声波(W)的反射波；载置台(3)，其使半导体器件(D)与超声波振子(2)的相对位置移动；载置台控制部(21)，其控制载置台(3)的驱动；及解析部(22)，其解析与由超声波振子(2)产生的超声波(W)的输入对应的半导体器件(D)的反应，载置台控制部(21)基于出现在接收机(13)检测出的反射波的时间波形(K)的波峰，控制半导体器件(D)与超声波振子(2)的距离。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	浜松光子学株式会社
发明人：	松本彻
专利状态：	有效
申请日期：	2017-09-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-14T00:00:00+0800
申请号：	CN201780066327.0
公开号：	CN109891231A
代理机构：	北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人：	杨琦;陈明霞
分类号：	G01N29/265(2006.01);G;G01;G01N;G01N29
申请人地址：	日本静冈县
主权项：	1.一种超声波检查装置，其特征在于，是以经封装化的半导体器件为检查对象的超声波检查装置，具备：超声波振子，其对所述半导体器件输出超声波；反射检测部，其检测由所述半导体器件反射的所述超声波的反射波；载置台，其使所述半导体器件与所述超声波振子的相对位置移动；载置台控制部，其控制所述载置台的驱动；以及解析部，其解析与由所述超声波振子进行的超声波输入对应的所述半导体器件的反应，所述载置台控制部基于在所述反射检测部检测出的所述反射波的时间波形中出现的波峰，控制所述半导体器件与所述超声波振子的距离。 2.如权利要求1所述的超声波检查装置，其中，所述载置台控制部以所述时间波形的所述波峰成为最大的方式控制所述半导体器件与所述超声波振子的距离。 3.如权利要求1或2所述的超声波检查装置，其中，所述载置台控制部基于出现在所述时间波形中的第2个之后的任一波峰，控制所述半导体器件与所述超声波振子的距离。 4.如权利要求1至3中任一项所述的超声波检查装置，其中，所述载置台控制部基于所述半导体器件中的封装的信息来设定对于所述时间波形的检测窗，进行所述波峰的检测。 5.如权利要求1至4中任一项所述的超声波检查装置，其中，还具备：电源装置，其对所述半导体器件施加恒定电压或恒定电流；及反应检测部，其在所述恒定电压或恒定电流的施加状态下，检测与所述超声波的输入对应的所述半导体器件的电流或电压，所述解析部基于来自所述反应检测部的检测信号生成解析图像。 6.如权利要求5所述的超声波检查装置，其中，还具备信号发生部，其对所述超声波振子输入驱动信号，且输出对应于所述驱动信号的参考信号，所述解析部基于所述检测信号与所述参考信号生成所述解析图像。 7.如权利要求5或6所述的超声波检查装置，其中，所述解析部基于来自所述反射检测部的检测信号生成反射图像。 8.如权利要求7所述的超声波检查装置，其中，所述解析部生成将所述解析图像与所述反射图像重叠后的重叠图像。 9.一种超声波检查方法，其特征在于，是以经封装化的半导体器件为检查对象的超声波检查方法，包括：调整步骤，对所述半导体器件调整自超声波振子输出的超声波的焦点位置；以及解析步骤，解析与所述超声波的输入对应的所述半导体器件的反应，在所述调整步骤中，检测由所述半导体器件反射的所述超声波的反射波，并基于出现在所述反射波的时间波形中的波峰，调整所述半导体器件与所述超声波振子的距离。 10.如权利要求9所述的超声波检查方法，其中，在所述调整步骤中，以所述时间波形的所述波峰成为最大的方式调整所述半导体器件与所述超声波振子的距离。 11.如权利要求9或10所述的超声波检查方法，其中，在所述调整步骤中，基于出现在所述时间波形中的第2个之后的任一波峰，调整所述半导体器件与所述超声波振子的距离。 12.如权利要求9～11中任一项所述的超声波检查方法，其中，在所述调整步骤中，基于所述半导体器件中的封装的信息来设定对于所述时间波形的检测窗，并进行所述波峰的检测。
所属类别：	发明专利