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原文传递一种氮化硼纳米线基复合膜湿度传感器的制备方法

专利名称：	一种氮化硼纳米线基复合膜湿度传感器的制备方法
摘要：	本发明提出了氮化硼纳米线基复合膜湿度传感器的制备方法，属于纳米传感器技术领域。所述方法步骤如下：将硼粉、硝酸铁、硅、二氧化硅粉末和铁球放到球磨罐中进行球磨；将球磨好的硼粉等粉末分散到无水乙醇中超声处理；制备基于不锈钢板上的氮化硼纳米线，然后将其从不锈钢板上剥离下来；将PEDOT:PSS和氮化硼纳米线混合进行超声振荡，形成均匀的导电聚合物和氮化硼纳米线的混合液；使用滴涂计吸取混合液滴涂在叉指电极上，放入真空干燥箱中真空干燥，即得到湿度传感器。本发明制备的传感器可有效检测外界湿度的变化，具有较高的灵敏度，且由于较快的响应及良好的检测精度，可用于监测呼吸频率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	黑龙江;23
申请人：	哈尔滨工业大学
发明人：	李玲;刘世杰;庄萃萃;王国帅;刘晓为
专利状态：	有效
申请日期：	2019-02-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201910146994.0
公开号：	CN109856200A
代理机构：	哈尔滨龙科专利代理有限公司
代理人：	高媛
分类号：	G01N27/12(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
主权项：	1.一种氮化硼纳米线基复合膜湿度传感器的制备方法，其特征在于：所述方法步骤如下：步骤一：将硼粉、硝酸铁、硅、二氧化硅粉末和铁球放到球磨罐中，对球磨罐进行抽真空，然后注入高纯氮气，反复进行三次抽真空然后注入高纯氮气的操作，将充满氮气的球磨罐放在球磨机上球磨；步骤二：将球磨好的前驱体粉末分散到无水乙醇中，将混合液放置在超声波清洗机中超声，形成均匀墨状前驱物；步骤三：向管式炉中通入氮氢混合气，管式炉自室温升温至1150℃，将步骤二得到的墨状前驱物均匀的涂在不锈钢板衬底上，放置到管式炉中，恒温烧结处理，然后自然冷却到室温，即得到基于不锈钢板上的高纯氮化硼纳米线；步骤四：使用铲刀将氮化硼纳米线剥离下来，放到无水乙醇中，进行超声处理，取上层溶液抽滤成膜，将抽滤的膜放到干燥箱中干燥处理，即得到脱离不锈钢板的氮化硼纳米线；步骤五：使用超纯水将固含量为1.0%的PEDOT:PSS溶液按体积比稀释到20%，按照0.1:1或0.2:1的质量比称取PEDOT:PSS和氮化硼纳米线，将两者溶于无水乙醇中，进行超声振荡，形成均匀的导电聚合物和氮化硼纳米线的混合液；步骤六：在印制电路板上印制叉指电极，电极间距为100μm，然后分别在甲苯、丙酮、无水乙醇中超声清洗；步骤七：将清洗好的叉指电极固定在恒温台上，使用滴涂计吸取导电聚合物和氮化硼纳米线的混合液滴涂在叉指电极上，将滴涂好的叉指电极放入真空干燥箱中真空干燥，即得到氮化硼纳米线基复合膜湿度传感器。 2.根据权利要求1所述的一种氮化硼纳米线基复合膜湿度传感器的制备方法，其特征在于：步骤二中，前驱体粉末与无水乙醇的料液比为0.1g：0.2mL。 3.根据权利要求1所述的一种氮化硼纳米线基复合膜湿度传感器的制备方法，其特征在于：步骤三中，所述的氮氢混合气体流速为100sccm~400sccm。 4.根据权利要求1所述的一种氮化硼纳米线基复合膜湿度传感器的制备方法，其特征在于：步骤三中，所述的氮氢混合气按照体积比由85%N2和15%H2组成。 5.根据权利要求1所述的一种氮化硼纳米线基复合膜湿度传感器的制备方法，其特征在于：步骤七中，所述的恒温台的温度为65℃~75℃。
所属类别：	发明专利