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原文传递一种用于电子显微镜双轴倾转原位样品杆

专利名称：	一种用于电子显微镜双轴倾转原位样品杆
摘要：	本发明实施例涉及一种电子显微镜用双轴倾转原位样品杆，包括样品杆杆头和样品杆本体，其特征在于：样品杆杆头上顺次设置活动板、样品装载台和偏心转轴；样品杆杆头一端设置活动板，活动板上搭载有多个导电探针，导电探针与设置于样品装载台第一表面的触点芯片接触，样品装载台位于所述样品杆的腔体内，且样品装载台一端通过偏心转轴与驱动设备连接。本发明采用导电探针与触点芯片中电极的紧密接触，能够对样品进行电学测量和加热测温。通过触点芯片中高密度的电极阵列，可以使样品加热更快更均匀。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	安徽泽攸科技有限公司
发明人：	张小龙;许晋京
专利状态：	有效
申请日期：	2019-02-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201910106433.8
公开号：	CN109856168A
代理机构：	北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	胡剑辉
分类号：	G01N23/04(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	244000 安徽省铜陵市经济技术开发区高新技术创业服务中心D号楼101号
主权项：	1.一种电子显微镜用双轴倾转原位样品杆，包括样品杆杆头和样品杆本体，其特征在于：所述样品杆杆头上顺次设置活动板、样品装载台和偏心转轴；所述样品杆杆头一端设置所述活动板，所述活动板上搭载有多个导电探针，所述导电探针与设置于所述样品装载台第一表面的触点芯片接触，所述样品装载台位于所述样品杆的腔体内，且所述样品装载台一端通过所述偏心转轴与驱动设备连接。 2.根据权利要求1所述的电子显微镜用双轴倾转原位样品杆，其特征在于，所述触点芯片的第一表面设有多个用于接触所述导电探针的电极，且所述电极与所述导电探针一对一接触，所述电极通过导线连接至所述触点芯片上的窗口，用于对所述窗口处的样品进行电学测量和加热测温。 3.根据权利要求1所述的电子显微镜用双轴倾转原位样品杆，其特征在于，所述样品装载台通过β转轴与所述腔体连接。 4.根据权利要求3所述的电子显微镜用双轴倾转原位样品杆，其特征在于，通过所述驱动设备控制所述偏心转轴，同时所述偏心转轴带动所述样品装载台围绕所述β转轴倾转，其倾转角度达到±65°。 5.根据权利要求2所述的电子显微镜用双轴倾转原位样品杆，其特征在于，所述样品装载台上设有圆孔，所述圆孔与所述触点芯片上的所述窗口重合。 6.根据权利要求1所述的电子显微镜用双轴倾转原位样品杆，其特征在于，所述导电探针中的导线通过引线通道与电学接口连接，用于给触点芯片提供电信号。 7.根据权利要求1所述的电子显微镜用双轴倾转原位样品杆，其特征在于，所述触点芯片采用半导体工艺制成；所述半导体工艺至少包括以下之一： lpcvd，光刻，pecvd，rie，磁控溅射和IBE。 8.根据权利要求1所述的电子显微镜用双轴倾转原位样品杆，其特征在于，所述触点芯片通过第一螺栓固定在所述样品装载台上。 9.根据权利要求1所述的电子显微镜用双轴倾转原位样品杆，其特征在于，所述活动板通过转轴与所述样品杆杆头连接。
所属类别：	发明专利