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原文传递一种透射电子显微镜双倾样品杆

专利名称：	一种透射电子显微镜双倾样品杆
摘要：	本发明公开了一种透射电子显微镜双倾样品杆，包括顺次相连的样品台、样品杆外壳、样品杆内芯和手柄四个主要部分。样品台上装有可旋转样品坩埚、可拆卸式压片以及微调齿轮，样品可随可旋转坩埚绕电子束入射方向旋转；样品杆外壳与样品台固定连接，外壳部分可以与电镜测角台合理匹配；样品杆内芯前端为与微调齿轮配合的传动齿条，后段与手柄内的直线伺服电机通过联轴器连接，内芯直线运动带动可旋转坩埚转动；手柄内部设有控制内芯运动的直线伺服电机及传动机构。本发明的倾转方式采用绕轴向翻转和绕电子束入射方向旋转相结合的方式。与现有样品杆相比，所设计的双倾样品杆β方向的倾转角度提高了67％，大大提高了现有双倾样品杆的测试性能。
专利类型：	发明专利
申请人：	大连理工大学
发明人：	张振宇;王林海;刘伟;崔俊峰;刘冬冬;杜岳峰
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T17:00:00+0805
申请号：	CN201911357081.X
公开号：	CN111024733A
代理机构：	大连理工大学专利中心
代理人：	温福雪;梅洪玉
分类号：	G01N23/04;G01N23/20058;G01N23/20025;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/04;G01N23/20058;G01N23/20025
申请人地址：	116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
主权项：	1.一种透射电子显微镜双倾样品杆，其特征在于，该透射电子显微镜双倾样品杆包括样品台、样品杆外壳、样品杆内芯和手柄，进一步包括样品台(1)、样品杆外壳(2)、内芯(3)、手柄(4)、可旋转坩埚(5)、可拆卸式压片(6)、微调齿轮(7)、传动齿条(8)、气阀开关(9)、真空密封圈(10)、定位销(11)、紧固槽(12)、拆卸槽(13)、直线伺服电机(14)以及挠性联轴器(15)；透射电子显微镜双倾样品杆的倾转方式采用绕轴向翻转即α倾转和绕电子束入射方向旋转即θ旋转相结合的方式；其中：所述的样品台(1)的前端设有一个透射孔，用于通过电子束，透射孔的孔径中配合有可绕透射孔转动的可旋转坩埚(5)；可旋转坩埚(5)及微调齿轮(7)为一体式结构，二者通过衬套连接，既保证可旋转坩埚(5)及微调齿轮(7)处于同一运动状态又实现其绕Z轴的旋转；可旋转坩埚(5)顶部与垫片固定连接，用于可旋转坩埚(5)垂直于样品台(1)方向的定位；垫片外圈设有三个矩形紧固槽(12)，其实现与可拆卸式压片(6)上的三个爪相配合；垫片内圈开有一个用于拆卸可拆卸式压片(6)的方形拆卸槽(13)；样品台(1)与样品杆外壳(2)为一体结构；所述的样品杆外壳(2)与透射电镜测角台相配合，外壳2分为大径部分和小径部分，其小径部分设有一用于打开电镜气阀的气阀开关(9)，大径部分前端设有用于装真空密封圈(10)的凹槽，真空密封圈(10)实现与电镜测角台的配合；大径部分后端与手柄(4)固定连接；大径部分内部前后两端还分别设有用于内芯(3)径向定位的环形槽；所述的内芯(3)是一根连接样品台(1)和手柄(4)内直线伺服电机(14)的传动轴，其前端固定连接着与微调齿轮(7)相配合的传动齿条(8)传动齿条(8)随内芯(3)的轴向移动一同运动；内芯(3)的径向定位分别通过位于样品杆外壳(2)大径部分前段和后端内部的定位槽；内芯(3)的后端通过挠性联轴器(15)与手柄(4)内部的直线伺服电机(14)连接；所述的手柄(4)内部含有驱动内芯(3)运动的传动机构，主要由可实现直线运动的直线伺服电机(14)和挠性联轴器(15)组成，直线伺服电机(14)固定于手柄(4)内的支撑架上；挠性联轴器(15)将电机主轴与内芯(3)连接起来实现直线伺服电机(14)对内芯(3)的控制；手柄(4)前端固定有样品杆外壳(2)和定位销(11)。
所属类别：	发明专利