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原文传递基于金属有机框架材料的石英晶体微天平及湿度传感器

专利名称：	基于金属有机框架材料的石英晶体微天平及湿度传感器
摘要：	本发明提供一种石英晶体微天平，包括石英晶体基体、电极和湿敏层，该电极设置在该石英晶体基体的至少一部分上，该湿敏层设置在该电极的至少一部分上，其中该湿敏层包含金属有机框架材料。该金属有机框架材料为Cu‑BTC、Fe‑BTC、MOF‑801和MOF‑801P中的一种或者多种的组合。该石英晶体微天平由于湿敏层包含金属有机框架材料，在低湿环境下依然对水分子有很强的保持能力，并且在对水分子的选择性远大于其他分子。本发明还提供包括该石英晶体微天平的石英晶体微天平湿度传感器，其可以检测低湿环境中的水分含量。本发明的石英晶体微天平和石英晶体微天平湿度传感器制备方法简单，成本低。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	飞思仪表(深圳)有限公司
发明人：	乔宝伟;陈行柱;黄瑞奇
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-14T00:00:00+0800
申请号：	CN201910194409.4
公开号：	CN109883877A
代理机构：	深圳鼎合诚知识产权代理有限公司
代理人：	张海平;彭家恩
分类号：	G01N5/02(2006.01);G;G01;G01N;G01N5
申请人地址：	518000 广东省深圳市宝安区石岩街道浪心社区浪心工业区厂房A1栋一层101室
主权项：	1.一种石英晶体微天平，所述石英晶体微天平包括石英晶体基体、电极和湿敏层，所述电极设置在所述石英晶体基体的至少一部分上，所述湿敏层设置在所述电极的至少一部分上，其特征在于，所述湿敏层包含金属有机框架材料。 2.根据权利要求1所述的石英晶体微天平，其特征在于，所述金属有机框架材料为Cu-BTC、Fe-BTC、MOF-801和MOF-801P中的一种或者多种的组合。 3.根据权利要求2所述的石英晶体微天平，其特征在于，所述湿敏层是通过在所述电极的至少一部分上涂覆所述金属有机框架材料而设置在所述电极的至少一部分上。 4.根据权利要求2所述的石英晶体微天平，其特征在于，所述湿敏层是通过在所述电极的至少一部分上原位生长Cu-BTC或者Fe-BTC而使Cu-BTC或者Fe-BTC设置在所述电极的至少一部分上。 5.根据权利要求1所述的石英晶体微天平，其特征在于，所述石英晶体基体包括两个相对的表面，每个石英晶体基体表面上设置有一个电极，每个电极上设置有一层湿敏层，所述湿敏层包含Cu-BTC、Fe-BTC、MOF-801和MOF-801P中的一种或者多种的组合。 6.根据权利要求5所述的石英晶体微天平，其特征在于，所述每个电极引出一根引线，所述引线与所述电极形成电连接。 7.根据权利要求6所述的石英晶体微天平，其特征在于，所述石英晶体微天平还包括基座，所述引线与所述基座固定连接而使所述石英晶体基体和所述电极固定支撑在所述基座上。 8.根据权利要求7所述的石英晶体微天平，其特征在于，所述石英晶体微天平还包括外壳，所述外壳容纳所述基座和固定支撑在所述基座上的所述石英晶体基体和所述电极。 9.一种石英晶体微天平湿度传感器，其特征在于，所述湿度传感器包括根据权利要求1-8中任一项所述的石英晶体微天平及信号采集电路和信号处理器。 10.根据权利要求9所述的石英晶体微天平湿度传感器，其特征在于，所述信号采集电路为普通振荡电路。
所属类别：	发明专利