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原文传递一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置

专利名称：	一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置
摘要：	本发明公开了一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，包括固定在扫描电镜观察台面的机座，所述机座上开设有开槽，开槽的后侧机座上设有固定板，所述固定板上固定有伺服电机，在伺服电机的转子上固定有主动同步带轮；所述开槽的两侧设有托臂；在托臂上设有轴孔，在托臂上通过转轴安装有活动臂；所述活动臂上开设有U型槽，在转轴上且位于活动臂U型槽内固定有从动同步带轮；在转轴的一侧通过联轴器连接有转角检测传感器；所述活动臂的前端面固定有楔形探头，在探头的上表面固定有样品台，在样品台的两侧固定有样品夹等结构；该装置降低探头和样品台碰撞事故率、节约实验时间成本，使扫描电镜设备更容易升级到透射电镜技术级别。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	内蒙古;15
申请人：	内蒙古科技大学
发明人：	曹亚楠;段宝龙;段宝玉;谭心;赵瑞超;张邦文;王海燕;诸葛晨昱;李一鸣;霍文霞
专利状态：	有效
申请日期：	2019-02-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-14T00:00:00+0800
申请号：	CN201910143821.3
公开号：	CN109884097A
代理机构：	北京挺立专利事务所(普通合伙)
代理人：	贾楠楠
分类号：	G01N23/20016(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	014010 内蒙古自治区包头市昆都仑区阿尔丁大街7号内蒙古科技大学
主权项：	1.一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于，包括固定在扫描电镜观察台面的机座，所述机座上开设有开槽，开槽的后侧机座上设有固定板，所述固定板上固定有伺服电机，在伺服电机的转子上固定有主动同步带轮；所述开槽的两侧设有托臂；在托臂上设有轴孔，在托臂上通过转轴安装有活动臂；所述活动臂上开设有U型槽，在转轴上且位于活动臂U型槽内固定有从动同步带轮；在转轴的一侧通过联轴器连接有转角检测传感器；所述活动臂的前端面固定有楔形探头，在探头的上表面固定有样品台，在样品台的两侧固定有样品夹；所述主动同步带轮与从动同步带轮通过同步带连接。 2.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述转轴为阶梯转轴。 3.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述探头通过销轴可拆卸的与活动臂固定连接，探头与活动臂对接面设为凸面，在凸起上设有销孔，所述活动臂与探头对接上设为凹面，在探头上设有销孔，且两者销孔的位置一致，探头安插在活动臂的凹面内，并由销轴固定。 4.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：以SEM电子束相垂直平面为0°面，可以使任意SEM的电子束与探头平面夹角在-30°至150°或-15°至165°或-5°至175°或0°至180°中任意一夹角范围内。 5.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述转轴通过轴承与拖臂固定，且轴承为滚珠轴承。 6.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述活动臂与转轴通过键槽配合的形式安装。 7.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述主动同步带轮与伺服电机通过键槽配合的形式安装。 8.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述伺服电机与固定板之间设有一层橡胶垫。
所属类别：	发明专利