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样品台及透射模式电子背散射衍射（T-EBSD）系统和方法
| 专利名称： | 样品台及透射模式电子背散射衍射（T-EBSD）系统和方法 |
| 摘要： | 本发明提供了样品台及透射模式电子背散射衍射（T-EBSD）系统和方法。T‑EBSD系统包括：样品台，具有位于样品台的一端的夹具，夹具用于固定样品；探测器，用于接收透过样品的透射电子。通过采用本发明的系统和方法，可以提高分辨率。本发明的T‑EBSD样品台的设计实现了薄膜样品与水平面间夹角在30‑70°连续可调，并且薄膜样品可稳定固定于倾斜表面。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 内蒙古;15 |
| 申请人： | 内蒙古科技大学 |
| 发明人： | 霍文霞;张磊 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-03-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-05-03T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910166743.9 |
| 公开号： | CN109709121A |
| 代理机构： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 宋平 |
| 分类号： | G01N23/203(2006.01);G;G01;G01N;G01N23 |
| 申请人地址： | 014010 内蒙古自治区包头市昆都仑区阿尔丁大街七号 |
| 主权项： | 1.一种透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统，包括： 物镜极靴，用于将入射电子发射至样品表面，所述入射电子与样品相互作用，产生透过所述样品的透射电子； 样品台，具有位于所述样品台的一端的夹具，所述夹具用于固定所述样品； 探测器，用于接收透过所述样品的所述透射电子。 2.根据权利要求1所述的透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统，其中，所述夹具位于所述样品台的倾斜表面上。 3.根据权利要求2所述的透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统，其中，所述样品台还包括螺旋钮，用于控制所述样品台的倾斜表面与水平面的夹角的值。 4.一种透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统的使用方法，包括： 利用物镜极靴将入射电子发射至样品台上的样品的表面，所述入射电子与所述样品相互作用，产生透过所述样品的透射电子； 利用探测器接收透过所述样品的所述透射电子，以获得样品的结构信息； 其中，所述样品台包括位于所述样品台的倾斜表面的夹具，所述夹具用于固定所述样品。 5.根据权利要求4所述的透射模式电子背散射衍射(T-EBSD)系统的使用方法，其中，所述样品台包括螺旋钮，用于控制所述样品台的倾斜表面与水平面的夹角的值。 6.一种样品台，包括： 倾斜表面； 夹具，位于所述倾斜表面上，所述夹具用于固定样品； 挡板，用于支撑所述倾斜表面； 螺旋钮，与所述挡板紧密相连，用于控制所述挡板在水平方向上的移动，进而控制所述样品台的倾斜表面与水平面的夹角的值。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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