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原文传递 X射线分析装置以及异常检测方法

专利名称：	X射线分析装置以及异常检测方法
摘要：	本发明提供一种能够防止高到所需程度以上的电压被施加至检测器的X射线分析装置以及异常检测方法。本发明的X射线分析装置(1)具备多个检测器(检测单元(3))、电压施加部(电路(4))及异常检测处理部(61)。多个检测器检测X射线。电压施加部对多个检测器施加电压。异常检测处理部(61)在从试样产生的X射线未被多个检测器检测出的状态下使从电压施加部施加至多个检测器的电压逐渐上升，并将这时的基于来自多个检测器的检测信号的测定值与阈值进行比较，由此检测异常。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社岛津制作所
发明人：	丸井隆雄
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-28T00:00:00+0800
申请号：	CN201811221495.5
公开号：	CN109946323A
代理机构：	上海华诚知识产权代理有限公司
代理人：	肖华
分类号：	G01N23/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
主权项：	1.一种X射线分析装置，其通过检测从试样产生的X射线来进行分析，该X射线分析装置的特征在于，具备：多个检测器，它们检测X射线；电压施加部，其对所述多个检测器施加电压；以及异常检测处理部，其在从试样产生的X射线未被所述多个检测器检测出的状态下使从所述电压施加部施加至所述多个检测器的电压逐渐上升，并将这时的基于来自所述多个检测器的检测信号的测定值与阈值进行比较，由此检测异常。 2.根据权利要求1所述的X射线分析装置，其特征在于，还具备电压停止处理部，在由所述异常检测处理部检测到异常的情况下，所述电压停止处理部至少对于所述测定值超过了阈值的检测器停止来自所述电压施加部的电压的施加。 3.根据权利要求2所述的X射线分析装置，其特征在于，在由所述异常检测处理部检测到异常的情况下，所述电压停止处理部仅对于所述测定值超过了阈值的检测器停止来自所述电压施加部的电压的施加，所述异常检测处理部在对于某一检测器停止来自所述电压施加部的电压的施加之后，也通过使从所述电压施加部施加至其他检测器的电压逐渐上升来继续异常的检测。 4.根据权利要求1所述的X射线分析装置，其特征在于，还具备通知处理部，所述通知处理部在由所述异常检测处理部检测到异常的情况下通知这一内容。 5.根据权利要求1所述的X射线分析装置，其特征在于，所述电压施加部具有可以相对于所述多个检测器单独装卸的连接部。 6.根据权利要求5所述的X射线分析装置，其特征在于，还具备：壳体，其收容所述多个检测器，在内部形成有相对于所述多个检测器装卸所述连接部的空间；开闭门，其设置在所述壳体上，用于对所述空间进行开闭；以及开闭传感器，其检测所述开闭门的开闭，在由所述开闭传感器检测到所述开闭门的开闭的情况下，所述异常检测处理部仅在之后不久的检测器高压施加时实施使从所述电压施加部施加至所述多个检测器的电压逐渐上升的处理。 7.一种异常检测方法，其是X射线分析装置的异常检测方法，所述X射线分析装置通过利用从电压施加部得到电压施加的多个检测器检测从试样产生的X射线来进行分析，该异常检测方法的特征在于，包含异常检测步骤，在从试样产生的X射线未被所述多个检测器检测出的状态下，使从所述电压施加部施加至所述多个检测器的电压逐渐上升，并将这时的基于来自所述多个检测器的检测信号的测定值与阈值进行比较，由此检测异常。 8.根据权利要求7所述的异常检测方法，其特征在于，还包含电压停止步骤，在通过所述异常检测步骤检测到异常的情况下，至少对于所述测定值超过了阈值的检测器停止来自所述电压施加部的电压的施加。 9.根据权利要求8所述的异常检测方法，其特征在于，在所述电压停止步骤中，在通过所述异常检测步骤检测到异常的情况下，仅对于所述测定值超过了阈值的检测器停止来自所述电压施加部的电压的施加，在所述异常检测步骤中，在对于某一检测器停止来自所述电压施加部的电压的施加之后，也通过使从所述电压施加部施加至其他检测器的电压逐渐上升来继续异常的检测。 10.根据权利要求7所述的异常检测方法，其特征在于，还包含通知步骤，在通过所述异常检测步骤检测到异常的情况下通知这一内容。
所属类别：	发明专利