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原文传递吸收波长可调的太赫兹波探测装置及其制备方法

专利名称：	吸收波长可调的太赫兹波探测装置及其制备方法
摘要：	本发明公开了一种吸收波长可调的太赫兹波探测装置及其制备方法，制备方法包括：提供衬底，在所述衬底上制作形成支撑层；在所述支撑层上制作形成热敏层；在所述支撑层和所述热敏层上制作形成导电层；在所述热敏层上制作形成吸收层；在所述衬底的背向所述吸收层的表面上制作通光孔；提供基座和可动反射镜，将所述可动反射镜安装于所述基座上；将所述基座与所述衬底固定连接，使得所述吸收层与所述可动反射镜的反射面平行对准。本发明公开的制备方法，工艺简单，将探测器和调谐波长的可动反射镜分离开，可使得探测装置的探测范围覆盖整个太赫兹波段，同时新的薄膜工艺有助于提高探测率，降低热响应时间常数。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	中国科学院深圳先进技术研究院
发明人：	魏广路;鲁远甫
专利状态：	有效
申请日期：	2017-12-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-28T00:00:00+0800
申请号：	CN201711382784.9
公开号：	CN109946261A
代理机构：	深圳市铭粤知识产权代理有限公司
代理人：	孙伟峰
分类号：	G01N21/3581(2014.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	518055 广东省深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号
主权项：	1.一种吸收波长可调的太赫兹波探测装置的制备方法，其特征在于，包括：提供衬底(31)，在所述衬底(31)上制作形成支撑层(32)；在所述支撑层(32)上制作形成热敏层(33)；在所述支撑层(32)和所述热敏层(33)上制作形成导电层；在所述热敏层(33)上制作形成吸收层(34)；在所述衬底(31)的背向所述吸收层(34)的表面上制作通光孔(31a)；将可动反射镜(20)的基座(10)与所述衬底(31)固定连接，使得所述吸收层(34)与所述可动反射镜(20)的反射面对准。 2.根据权利要求1所述的吸收波长可调的太赫兹波探测装置的制备方法，在所述支撑层(32)上制作形成所述热敏层(33)之后，所述制备方法还包括对所述热敏层(33)的两侧部分进行刻蚀。 3.根据权利要求2所述的吸收波长可调的太赫兹波探测装置的制备方法，其特征在于，在所述支撑层(32)和所述热敏层(33)上制作形成所述导电层(35)之后，所述制备方法还包括对所述热敏层(33)上的部分所述导电层(35)进行刻蚀，使得所述热敏层(33)暴露。 4.根据权利要求3所述的吸收波长可调的太赫兹波探测装置的制备方法，其特征在于，在所述支撑层(32)和所述热敏层(33)上制作形成所述导电层(35)之后，所述制备方法还包括在所述导电层(35)和所述热敏层(33)上制作形成绝缘层(36)。 5.根据权利要求4所述的吸收波长可调的太赫兹波探测装置的制备方法，其特征在于，在所述导电层(35)和所述热敏层(33)上制作形成绝缘层(36)之后，所述制备方法还包括对所述热敏层(33)两侧的所述绝缘层(36)、所述导电层(35)和所述支撑层(32)的部分区域进行刻蚀，以在所述绝缘层(36)、所述导电层(35)和所述支撑层(32)上形成多个连续的长条孔(37)。 6.根据权利要求1所述的吸收波长可调的太赫兹波探测装置的制备方法，其特征在于，将所述基座(10)与所述衬底(31)固定连接，使得所述吸收层(34)与所述可动反射镜(20)的反射面对准的具体方法为：制作形成多个粘贴柱(40)，将所述多个粘贴柱(40)的两端分别粘贴于所述基座(10)和所述衬底(31)。 7.根据权利要求1所述的吸收波长可调的太赫兹波探测装置的制备方法，其特征在于，采用低压气相沉积工艺在所述衬底(31)上制作形成所述支撑层(32)，所述支撑层(32)为氮化硅层，所述支撑层(32)的厚度范围为20～30nm。 8.根据权利要求1所述的吸收波长可调的太赫兹波探测装置的制备方法，其特征在于，采用磁控溅射工艺在所述支撑层(32)上制作形成所述热敏层(33)，所述热敏层(33)为氧化钒层，所述热敏层(33)的厚度为5～10nm。 9.根据权利要求1所述的吸收波长可调的太赫兹波探测装置的制备方法，其特征在于，采用磁控溅射工艺在所述绝缘层(36)正对所述热敏层(33)的部分制作形成所述吸收层(34)，所述吸收层(34)为镍铬合金层，所述吸收层(34)的厚度为5nm。 10.一种吸收波长可调的太赫兹波探测装置，其特征在于，包括可动反射镜(20)和探测器(30)；所述探测器(30)包括衬底(31)、设于所述衬底(31)上的支撑层(32)、设于所述支撑层(32)上的热敏层(33)、设于所述热敏层(33)上的吸收层(34)和设于所述热敏层(33)两侧且与所述热敏层(33)电连接的导电层(35)；所述可动反射镜(20)的基座(10)与所述探测器(30)相对设置，且所述可动反射镜(20)的反射面与所述吸收层(34)相向，所述可动反射镜(20)用于沿着垂直于所述反射面的方向上活动；所述衬底(31)上设有用于暴露所述吸收层(34)和所述可动反射镜(20)的通光孔(31a)。
所属类别：	发明专利