专利名称: |
一种真空设备放气成分收集方法 |
摘要: |
本发明公开了一种真空设备放气成分收集方法,包括以下步骤:连通设备、确认阀门状态、启动真空泵、启动分子泵、对真空设备进行抽空、进行气体收集、结束收集、停止分子泵、真空泵、更换新的收集容器。本发明使用分子泵进行收集,较扩散泵缩短了真空设备的抽气时间,获得无油污染的清洁真空环境,避免了油蒸气的污染。本发明采用液氮冷阱阻止真空泵内的油蒸气扩散至收集容器内。减少收集装置本身影响。本发明收集容器除气后放气量小于10‑6Pa•m3/s,减少收集装置本身影响。本发明使用液氮瓶冷冻收集容器,使收集容器内保持低温、低压环境,达到加速气体收集及保持分子泵额定转速运转的目的。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
天津;12 |
申请人: |
核工业理化工程研究院 |
发明人: |
赫梓宇;王永华;赵伟利;岳超 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2019-03-26T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-07-05T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201910232401.2 |
公开号: |
CN109975083A |
代理机构: |
天津市宗欣专利商标代理有限公司 |
代理人: |
王龑 |
分类号: |
G01N1/24(2006.01);G;G01;G01N;G01N1 |
申请人地址: |
300180 天津市河东区津塘路168号 |
主权项: |
1.一种真空设备放气成分收集方法,其特征在于:包括以下步骤: (ⅰ)连通设备 (ⅱ)确认阀门状态 确认设备中的阀门均处于关闭状态; (ⅲ)启动真空泵 充分冷冻液氮冷阱后,启动真空泵,依次打开Ⅲ号阀门、Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门; (ⅳ)启动分子泵 当真空计压力降至100Pa以下,启动分子泵; (ⅴ)对真空设备进行抽空 真空计压力降至1Pa以下,使用液氮瓶冷冻收集容器,关闭Ⅱ号阀门、Ⅵ号阀门,开启Ⅰ号阀门,对真空设备进行抽空; (ⅵ)进行气体收集 当真空设备内压力降至1Pa以下,关闭Ⅰ号阀门、Ⅴ号阀门,开启Ⅱ号阀门,同时将真空设备上所有抽空管线封闭,开始进行气体收集; (ⅶ)结束收集 收集指定时间t后,封闭真空设备放气成分收集装置上所有阀门,结束收集; (ⅷ)停止分子泵、真空泵 (ⅸ)更换新的收集容器。 2.根据权利要求1所述的一种真空设备放气成分收集方法,其特征在于:步骤(ⅰ)中连通设备包括真空设备,所述真空设备与分子泵连通,所述分子泵与收集容器连通,所述收集容器置于液氮瓶中,所述真空设备、分子泵、收集容器还与抽真空用的真空泵连通。 3.根据权利要求2所述的一种真空设备放气成分收集方法,其特征在于:所述真空泵的抽气口处设置有液氮冷阱,所述真空泵、液氮冷阱之间设置有Ⅲ号阀门。 4.根据权利要求3所述的一种真空设备放气成分收集方法,其特征在于:所述收集容器上设置有Ⅵ号阀门,所述Ⅵ号阀门与分子泵之间设置有Ⅶ号阀门、真空计,所述Ⅵ号阀门与液氮冷阱之间设置有Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门。 5.根据权利要求4所述的一种真空设备放气成分收集方法,其特征在于:所述分子泵、收集容器串联的管路上并联有旁通支管路。 6.根据权利要求5所述的一种真空设备放气成分收集方法,其特征在于:所述旁通支管路中设置有Ⅰ号阀门。 7.根据权利要求6所述的一种真空设备放气成分收集方法,其特征在于:所述真空设备与分子泵之间设置有Ⅱ号阀门。 8.根据权利要求7所述的一种真空设备放气成分收集方法,其特征在于:所述旁通支管路一端设置在真空设备、Ⅱ号阀门之间,旁通支管路另一端设置在Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门之间。 9.根据权利要求8所述的一种真空设备放气成分收集方法,其特征在于:步骤(ⅱ)中的阀门包括Ⅰ号阀门、Ⅱ号阀门、Ⅲ号阀门、Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门。 10.根据权利要求9所述的一种真空设备放气成分收集方法,其特征在于:步骤(ⅸ)中更换收集容器包括以下内容:保持Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门封闭,拆下收集容器,同时更换新的收集容器。 |
所属类别: |
发明专利 |