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原文传递一种真空设备放气成分收集方法

专利名称：	一种真空设备放气成分收集方法
摘要：	本发明公开了一种真空设备放气成分收集方法，包括以下步骤：连通设备、确认阀门状态、启动真空泵、启动分子泵、对真空设备进行抽空、进行气体收集、结束收集、停止分子泵、真空泵、更换新的收集容器。本发明使用分子泵进行收集，较扩散泵缩短了真空设备的抽气时间，获得无油污染的清洁真空环境，避免了油蒸气的污染。本发明采用液氮冷阱阻止真空泵内的油蒸气扩散至收集容器内。减少收集装置本身影响。本发明收集容器除气后放气量小于10‑6Pa•m3/s,减少收集装置本身影响。本发明使用液氮瓶冷冻收集容器，使收集容器内保持低温、低压环境，达到加速气体收集及保持分子泵额定转速运转的目的。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	天津;12
申请人：	核工业理化工程研究院
发明人：	赫梓宇;王永华;赵伟利;岳超
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201910232401.2
公开号：	CN109975083A
代理机构：	天津市宗欣专利商标代理有限公司
代理人：	王龑
分类号：	G01N1/24(2006.01);G;G01;G01N;G01N1
申请人地址：	300180 天津市河东区津塘路168号
主权项：	1.一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：包括以下步骤：（ⅰ）连通设备（ⅱ）确认阀门状态确认设备中的阀门均处于关闭状态；（ⅲ）启动真空泵充分冷冻液氮冷阱后，启动真空泵，依次打开Ⅲ号阀门、Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门；（ⅳ）启动分子泵当真空计压力降至100Pa以下，启动分子泵；（ⅴ）对真空设备进行抽空真空计压力降至1Pa以下，使用液氮瓶冷冻收集容器，关闭Ⅱ号阀门、Ⅵ号阀门，开启Ⅰ号阀门，对真空设备进行抽空；（ⅵ）进行气体收集当真空设备内压力降至1Pa以下，关闭Ⅰ号阀门、Ⅴ号阀门，开启Ⅱ号阀门，同时将真空设备上所有抽空管线封闭，开始进行气体收集；（ⅶ）结束收集收集指定时间t后，封闭真空设备放气成分收集装置上所有阀门，结束收集；（ⅷ）停止分子泵、真空泵（ⅸ）更换新的收集容器。 2.根据权利要求1所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：步骤（ⅰ）中连通设备包括真空设备，所述真空设备与分子泵连通，所述分子泵与收集容器连通，所述收集容器置于液氮瓶中，所述真空设备、分子泵、收集容器还与抽真空用的真空泵连通。 3.根据权利要求2所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述真空泵的抽气口处设置有液氮冷阱，所述真空泵、液氮冷阱之间设置有Ⅲ号阀门。 4.根据权利要求3所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述收集容器上设置有Ⅵ号阀门，所述Ⅵ号阀门与分子泵之间设置有Ⅶ号阀门、真空计，所述Ⅵ号阀门与液氮冷阱之间设置有Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门。 5.根据权利要求4所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述分子泵、收集容器串联的管路上并联有旁通支管路。 6.根据权利要求5所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述旁通支管路中设置有Ⅰ号阀门。 7.根据权利要求6所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述真空设备与分子泵之间设置有Ⅱ号阀门。 8.根据权利要求7所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：所述旁通支管路一端设置在真空设备、Ⅱ号阀门之间，旁通支管路另一端设置在Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门之间。 9.根据权利要求8所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：步骤（ⅱ）中的阀门包括Ⅰ号阀门、Ⅱ号阀门、Ⅲ号阀门、Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门。 10.根据权利要求9所述的一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：步骤（ⅸ）中更换收集容器包括以下内容：保持Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门封闭，拆下收集容器，同时更换新的收集容器。
所属类别：	发明专利