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原文传递一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪

专利名称：	一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪
摘要：	本发明涉及一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪，包括：X射线源系统，X射线滤波片，毛细管会聚X光透镜，接收狭缝，三维样品台，测角仪，X射线探测器，电子学系统，控制系统和计算机；其中，样品置于样品台上；所述X射线源系统，X射线滤波片和毛细管会聚X光透镜位于同一直线上并安装在所述测角仪一侧；所述接收狭缝和X射线探测器位于同一直线上并安装在所述测角仪另一侧；所述X射线探测器依次与所述电子学系统、计算机电连接；所述控制系统分别与所述三维样品台，测角仪和计算机电连接。具备微区X射线衍射分析和微区能量色散X射线荧光分析两种分析模式，可以测量小样品或样品微区的物相结构，能通过二维连续扫描探测物相或元素的分布。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京师范大学
发明人：	程琳;姜其立;段泽明
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-09T00:00:00+0800
申请号：	CN201910269732.3
公开号：	CN109991253A
分类号：	G01N23/20008(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	100875 北京市海淀区新街口外大街19号
主权项：	1.一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪，其特征在于，所述衍射仪包括：X射线源系统(1)，X射线滤波片(9)，毛细管会聚X光透镜(10)，接收狭缝(11)，三维样品台(12)，测角仪(13)，X射线探测器(6)，电子学系统(7)，控制系统(14)和计算机(8)；其中，待测样品置于所述三维样品台(12)上；所述X射线滤波片(9)安装在所述X射线源系统(1)和所述毛细管会聚X光透镜(10)之间；所述X射线源系统(1)和所述毛细管会聚X光透镜(10)安装在所述测角仪(13)一侧，所述毛细管会聚X光透镜(10)将来自所述X射线源系统(1)的X射线会聚成微束X射线，所述微束X射线的中心线与所述三维样品台(12)表面的夹角为θ1；所述X射线探测器(6)和所述接收狭缝(11)安装在所述测角仪(13)另一侧，所述X射线探测器(6)铍窗的中心线经过所述接收狭缝(11)的中心并与所述三维样品台(12)表面的夹角为θ2；所述微束X射线的中心线、所述X射线探测器(6)铍窗的中心线交汇于所述测角仪(13)的圆心，所述样品的待测点位于所述测角仪(13)的圆心；所述X射线探测器(6)依次与所述电子学系统(7)，所述计算机(8)电连接；所述控制系统(14)分别与所述三维样品台(12)，所述测角仪(13)和所述计算机(8)电连接。 2.如权利要求1所述的一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪，其特征在于，所述X射线源系统(1)包括50微米、最大功率30瓦的微焦斑X射线管，温控装置和散热风扇。 3.如权利要求1所述的一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪，其特征在于，所述接收狭缝(11)长度为20mm，宽度为0.1mm。 4.如权利要求1所述的一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪，其特征在于，所述X射线探测器(6)选用Amptek X-123SDD X射线探测器。 5.如权利要求1所述的一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪，其特征在于，所述测角仪(13)为θ-θ结构。 6.如权利要求1所述的一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪，其特征在于，X射线经由所述毛细管会聚X光透镜(10)照射在所述样品上的X射线束斑直径为0.1mm，所述样品的待测点到毛细管会聚X光透镜(10)的距离为毛细管会聚X光透镜(10)的后焦距。 7.如权利要求1所述的一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪，其特征在于，具备微区X射线衍射分析和微区能量色散X射线荧光分析两种分析模式。
所属类别：	发明专利