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原文传递一种光学元件表面微小缺陷二维轮廓的检测方法

专利名称：	一种光学元件表面微小缺陷二维轮廓的检测方法
摘要：	本发明涉及光学表面缺陷检测技术领域，具体涉及一种光学元件表面微小缺陷二维轮廓的检测方法。以克服现有技术存在的结构复杂、测量精度低、数据量大和测量时间长的问题。本发明采用的步骤为：1）激光束经过光束整形系统形成会聚光，会聚光经过样品反射后到达CCD靶面，调整样品位置、姿态，使会聚点位于靶面中心且垂直于CCD靶面，反射点到靶面中心的距离为L；2）光束照在样品表面缺陷区域，CCD上得到散射分布图；3）对散射分布图求出中心位置，以中心位置为基准点，沿不同方向取值可以得到一维的光强分布曲线I(w)；4）重复步骤三的过程，对于散射图在不同的方向上取值，可以获得缺陷在不同取样方向上的宽度值，由此拟合出缺陷的二维轮廓。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	陕西;61
申请人：	西安工业大学
发明人：	王红军;武雄骁;田爱玲;刘卫国;王大森;朱学亮;刘丙才
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201910311988.6
公开号：	CN110006924A
代理机构：	西安新思维专利商标事务所有限公司
代理人：	黄秦芳
分类号：	G01N21/958(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	710032 陕西省西安市未央区学府中路2号
主权项：	1.一种光学元件表面微小缺陷二维轮廓的检测方法，其特征在于：所述的检测方法的步骤为：步骤一、激光器发出的激光束经过光束整形系统形成会聚光，会聚光经过样品反射后到达CCD靶面，调整样品的位置和姿态，使会聚光束的会聚点位于CCD的靶面中心且使会聚光轴垂直于CCD靶面，此时反射点到CCD靶面中心的距离为L；步骤二、光束照在样品表面缺陷区域，CCD上得到散射分布图；步骤三、对散射分布图利用重心法求出中心位置，以中心位置为基准点，沿不同方向取值可以得到一维的光强分布曲线I(w)，曲线横坐标为该点与基准点之间的距离w，纵坐标为图像的灰度图，对应该点的光强度I 由光强分布曲线转换为l(θ)，转换为二维矩阵[I，θ]，其中I和θ为一维矩阵，元素个数为采样数N 取光强I的最大值为Imax,取样间隔为ΔImax，光强I的最小值Imin，取样间隔为ΔImin，设置缺陷在取值方向上的宽度范围为(dmin,dmax)，取值间隔为Δd 所述缺陷在取样方向上的宽度计算过程如下： Step1：设置入射光波长λ，设置I0＝0，Ig＝0，Irms0＝0，d＝dmin； Step2：读取二维矩阵[I，θ]； Step3：将d，θ和λ代入得到一维矩阵α； Step4:将α，I0和Ig代入得到一维矩阵I1； Step5：计算均方根值Irms＝rms(I1-I)； Step6：如果Irms＜Irms0，则Irms0＝Irms；d′＝d； Step7：Ig＝Ig+ΔImin，如果Ig＜Imin，则转到Step4 Step8：I0＝I0+ΔImax，如果I0＜Imax，则转到Step4 Step9：d＜dmin+Δd，如果d＜dmax，则转到Step3 Step10：d′为计算的缺陷在取样方向上的宽度；步骤四、重复步骤三的过程，对于散射图在不同的方向上取值，可以获得缺陷在不同取样方向上的宽度值，由此拟合出缺陷的二维轮廓。
所属类别：	发明专利