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原文传递基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置

专利名称：	基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置
摘要：	本实用新型涉及光电子技术领域，提供一种基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置，包括宽带光源、光纤耦合器、参考臂、样品臂、微镜控制机、探测器以及计算机，光纤耦合器用以接收宽带光源发出的光并将其分成参考光和样品光，参考臂用以接收准直参考光并使得准直后的参考光变为沿原路返回至光纤耦合器的参考回光；样品臂用以接收、准直样品光并将准直后的样品光反射至样品表面进而使到达样品表面的样品光变为沿原路返回至光纤耦合器的样品回光；其中，样品臂包括数字微镜设备，该数字微镜设备可通过上百万个微小的反射镜扫描得到样品的三维信息；结构简单易实现，避免了利用光学扫描头产生扫描误差，精确度高。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市太赫兹科技创新研究院
发明人：	苏胜飞
专利状态：	有效
申请日期：	2018-09-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-19T00:00:00+0800
申请号：	CN201821622942.3
公开号：	CN209132156U
代理机构：	深圳中一专利商标事务所
代理人：	官建红
分类号：	G01N21/45(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	518102 广东省深圳市宝安区西乡宝田一路臣田工业区37栋二楼东侧
主权项：	1.基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置，用于样品的成像，其特征在于，包括：宽带光源；光纤耦合器，用以将所述宽带光源发出的光分成参考光和样品光并分别送出；参考臂，用以接收、准直所述参考光并使得准直后的参考光变为沿原路返回至所述光纤耦合器的参考回光，包括用以接收并准直所述参考光的第一准直透镜和用以使准直后的参考光朝向所述第一准直透镜反射的反射镜，所述参考回光与所述参考光于所述第一准直透镜处耦合；样品臂，用以接收、准直所述样品光并将准直后的样品光反射至所述样品表面进而使到达所述样品表面的样品光变为沿原路返回至所述光纤耦合器的样品回光，所述参考回光与所述样品回光于所述光纤耦合器中发生干涉；所述样品臂包括用以使准直后的样品光朝向所述样品反射的数字微镜设备；微镜控制机，用以控制所述数字微镜设备开关；探测器，其与所述光纤耦合器相连接；以及计算机，其与所述探测器相连接。 2.根据权利要求1所述的光学相干层析成像装置，其特征在于，所述光学相干层析成像装置还包括参考臂控制机构，所述参考臂控制机构包括用于调节所述第一准直透镜与所述反射镜间距的第一调节组件和用于调节所述反射镜倾斜角度的第二调节组件。 3.根据权利要求1或2所述的光学相干层析成像装置，其特征在于，所述样品臂还包括用以接收、准直所述样品光的第二准直透镜和用以将所述数字微镜设备反射出的样品光聚焦至所述样品表面的成像透镜，所述数字微镜设备设置在所述第二准直透镜与所述成像透镜之间并位于所述成像透镜背离所述样品一侧。 4.根据权利要求3所述的光学相干层析成像装置，其特征在于，所述数字微镜设备反射光线与所述数字微镜设备入射光线的夹角为90度。 5.根据权利要求3所述的光学相干层析成像装置，其特征在于，所述宽带光源为超辐射发光二极管、飞秒激光器或发光二极管。 6.根据权利要求3所述的光学相干层析成像装置，其特征在于，所述探测器为光谱仪、电荷耦合元件或光电二极管。 7.根据权利要求3所述的光学相干层析成像装置，其特征在于，所述光纤耦合器为2×2单模光纤耦合器。 8.根据权利要求7所述的光学相干层析成像装置，其特征在于，所述光纤耦合器的分光比为50：50。
所属类别：	实用新型