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原文传递一种X射线光电子能谱仪进样系统

专利名称：	一种X射线光电子能谱仪进样系统
摘要：	本实用新型公开了一种X射线光电子能谱仪进样系统，用于对样品抽真空后将样品送到测试系统检测，包括：第一进样装置、第二进样装置、真空泵装置及真空管道；所述第一进样装置包括第一进样室，所述第二进样装置包括第二进样室，所述真空泵装置位于所述第一进样室与所述第二进样室之间，所述第一进样室与所述第二进样室均与所述真空泵装置通过真空管道相连，所述真空管道与所述第一进样室和所述第二进样室连接处均设置有阀门；所述真空泵装置用于对所述第一进样室进行抽真空，所述真空泵装置用于对所述第二进样室进行抽真空。本实用新型所述X射线光电子能谱仪进样系统能够降低了样品测试过程中的等待时间，提高了测试效率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市八六三新材料技术有限责任公司
发明人：	孙耀明;彭晓华;陈寿;江俊灵;王鑫;康光宇;朱婉平;李彦灼
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-01T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201821792971.4
公开号：	CN209148570U
代理机构：	深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	王永文;刘文求
分类号：	G01N23/2273(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	518117 广东省深圳市龙岗区龙岗大道(坪地段)1001号
主权项：	1.一种X射线光电子能谱仪进样系统，用于对样品抽真空后将样品送到测试系统检测，其特征在于，所述X射线光电子能谱仪进样系统包括：第一进样装置、第二进样装置、真空泵装置及真空管道；所述第一进样装置包括第一进样室，所述第二进样装置包括第二进样室，所述真空泵装置位于所述第一进样室与所述第二进样室之间，所述第一进样室与所述第二进样室均与所述真空泵装置通过真空管道相连，所述真空管道与所述第一进样室和所述第二进样室连接处均设置有阀门；所述真空泵装置用于对所述第一进样室进行抽真空，所述真空泵装置用于对所述第二进样室进行抽真空。 2.根据权利要求1所述的X射线光电子能谱仪进样系统，其特征在于，所述X射线光电子能谱仪进样系统与所述测试系统连接，在所述X射线光电子能谱仪进样系统与所述测试系统连接处设置有阀门。 3.根据权利要求1所述的X射线光电子能谱仪进样系统，其特征在于，所述第一进样装置还包括：设置在所述第一进样室中的第一样品架，与所述第一样品架相连的第一传送装置，所述第一传送装置用于将所述第一样品架送入及送出所述测试系统。 4.根据权利要求1所述的X射线光电子能谱仪进样系统，其特征在于，所述第二进样装置还包括：设置在所述第二进样室中的第二样品架，与所述第二样品架相连的第二传送装置，所述第二传送装置用于将所述第二样品架送入及送出所述测试系统。 5.根据权利要求3所述的X射线光电子能谱仪进样系统，其特征在于，所述第一传送装置包括：第一进样杆与第一推动组件，所述第一进样杆的一端与所述第一样品架相连，所述第一进样杆的另一端与所述第一推动组件相连。 6.根据权利要求4所述的X射线光电子能谱仪进样系统，其特征在于，所述第二传送装置包括：第二进样杆与第二推动组件，所述第二进样杆的一端与所述第二样品架相连，所述第二进样杆的另一端与所述第二推动组件相连。 7.根据权利要求5所述的X射线光电子能谱仪进样系统，其特征在于，所述第一推动组件包括：固定在所述第一进样杆上的第一磁力内推手和设置于所述第一进样室外部的第一磁力外推手；所述第一磁力外推手用于驱动所述第一磁力内推手。 8.根据权利要求6所述的X射线光电子能谱仪进样系统，其特征在于，所述第二推动组件包括：固定在所述第二进样杆上的第二磁力内推手和设置于所述第二进样室外部的第二磁力外推手；所述第二磁力外推手用于驱动所述第二磁力内推手。 9.根据权利要求1所述的X射线光电子能谱仪进样系统，其特征在于，所述真空管道为T形真空管道。
所属类别：	实用新型