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X射线Talbot干涉仪和X射线Talbot干涉仪系统
| 专利名称： | X射线Talbot干涉仪和X射线Talbot干涉仪系统 |
| 摘要： | 本发明涉及X射线Talbot干涉仪和X射线Talbot干涉仪系统。X射线Talbot干涉仪包括：包括多个X射线透射部分的源光栅，被配置为允许来自X射线源的X射线中的一些通过；具有周期性结构的分束器光栅，被配置为通过使用所述周期性结构使来自所述X射线透射部分的X射线衍射以形成干涉图案；以及X射线检测器，被配置为检测来自所述分束器光栅的X射线。所述分束器光栅使来自所述多个X射线透射部分中的每个X射线透射部分的X射线衍射以形成各自与所述多个X射线透射部分之一对应的干涉图案。所述多个X射线透射部分被布置为使得各自与所述多个X射线透射部分之一对应的干涉图案相互叠加以增强通过所述干涉图案的调制而生成的边带中的空间频率分量。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 佳能株式会社 |
| 发明人： | 半田宗一郎 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811127026.7 |
| 公开号： | CN109115816A |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
| 代理人： | 刘前红 |
| 分类号： | G01N23/20(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23 |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 主权项： | 1.一种X射线Talbot干涉仪，该X射线Talbot干涉仪包括：具有周期性结构的分束器光栅，被配置为通过使用所述周期性结构使来自X射线源的X射线衍射以形成干涉图案；分析器光栅，被配置为遮挡所述干涉图案的一部分；以及X射线检测器，被配置为检测来自所述分析器光栅的X射线，其中，所述分析器光栅执行关于所述干涉图案的信息的空间‑频移以使得所述X射线检测器能检测到关于所述干涉图案的空间频带的信息，并且其中，所述空间频带以通过特定于所述干涉图案的空间频率分量被样品调制而生成的边带中的空间频率分量为中心。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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