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原文传递一种检测物体的表面清洁度的方法及装置

专利名称：	一种检测物体的表面清洁度的方法及装置
摘要：	本发明提供一种检测物体的表面清洁度的方法及装置，该检测物体的表面清洁度的方法包括以下步骤：步骤1、利用第一预设波长范围内的激光照射待测表面，以激发所述待测表面上的污染物发出荧光；步骤2、获得所述荧光的光子计数值i，并将所述光子计数值i作为或转化为衡量所以待测表面的清洁度的指定标量。本发明的检测物体的表面清洁度的方法能够较快且较准确地获知待测表面的清洁度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	易安基自动化设备(北京)有限公司
发明人：	郝汝栋;唐仁兴
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201910239859.0
公开号：	CN110044913A
代理机构：	北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	刘云贵;金卫文
分类号：	G01N21/94(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	100176 北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街2号11-1号楼
主权项：	1.一种检测物体的表面清洁度的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、利用第一预设波长范围内的激光照射待测表面，以激发所述待测表面上的污染物发出荧光；步骤2、获得所述荧光的光子计数值i，并将所述光子计数值i作为或转化为衡量所以待测表面的清洁度的指定标量。 2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤2包括以下步骤：步骤2.1、待所述激光停止照射而所述待测表面上的污染物还在发出荧光时，接收所述待测表面处光的的光信号，接收光信号的时长为预设时长，以得到第一光子计数值i1；步骤2.2、待所述污染物不再发出荧光时，接收所述待测表面处的光的光信号，接受光信号的时长为所述预设时长，以得到第二光子计数值i2；步骤2.3、根据第一光子计数值i1和第二光子计数值i2，计算出所述荧光的光子计数值i，以获知所述待测表面的清洁度。 3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一光子计数值i1包括背景光的光子计数值、暗计数值和荧光的光子计数值，所述第二光子计数值i2包括暗计数值和荧光的光子计数值，在所述步骤2.3中，所述荧光的光子计数值i＝i1-i2。 4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述步骤2.1之前，当所述激光还在照射所述待测表面时，接收所述待测表面处的光的光信号，接受光信号的时长为所述预设时长，以得到第三光子计数值i3，根据i1、i2和i3来计算反射光的光子计数值i’。 5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第三光子计数值i3包括反射光的光子计数值、背景光的光子计数值、暗计数值和荧光的光子计数值；根据i1、i2和i3来计算反射光的光子计数值i’具体为：反射光的光子计数值i’＝i3-i2-i。 6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在接收所述待测表面处的光的光信号之前，先对该光进行过滤，从而仅接收第二波长范围内的光的光信号。 7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一预设波长范围为10-365nm，所述第二预设波长范围为385-460nm。 8.一种检测物体的表面清洁度的装置，其特征在于，用于实施权利要求1-7中任一项所述的方法，所述装置包括：激光发生器，其能够发射出第一预设波长的激光；激光传输机构，对所述激光发生器发出的激光进行传输，使得所述激光能够照射在所述待测表面；光信号接收机构，其能够接收所述待测表面处的光信号；控制器，其与所述激光发生器和光信号接收机构均相连，其既能够控制所述激光发生器以及光信号接收机构的开启和关闭，也能够根据所述光信号接收机构所接受的光信号来得到所述待测表面的清洁度。 9.根据权利要求8所述的清洁度检测仪，其特征在于，所述光信号接收机构为光电倍增管，所述激光传输机构为光纤，所述激光发生器为脉冲激光器，所述脉冲激光器的脉宽小于100ns。 10.根据权利要求8所述的清洁度检测仪，其特征在于，还包括与所述控制器相连的显示机构，用于显示所述控制器获知的所述待测表面的清洁度。
所属类别：	发明专利